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手動臺階儀 JS10B

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產(chǎn)品特點(diǎn)

國產(chǎn)手動臺階儀 JS10B,穩(wěn)定可靠的重復(fù)性測量,采用金剛石探針,無畸變的觀察樣品區(qū),實(shí)時觀察掃描區(qū)域

詳細(xì)介紹

? 產(chǎn)品介紹:

澤攸科技JS系列臺階儀作為國產(chǎn)高精度表面測量設(shè)備的代表,憑借其創(chuàng)新的技術(shù)架構(gòu)、靈活的應(yīng)用場景及可靠的測量性能,可以對微納結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和臺階高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量,在高校、研究實(shí)驗(yàn)室和研究所、半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體、高亮度LED、太陽能、MEMS微機(jī)電、觸摸屏、汽車、醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。

JS系列臺階儀通過金剛石探針與樣品表面的接觸掃描,將微觀輪廓的垂直位移轉(zhuǎn)化為電信號,結(jié)合高靈敏度傳感器與信號處理算法,實(shí)現(xiàn)納米級精度的表面特征捕捉。其核心技術(shù)亮點(diǎn)在于超微壓力恒定控制系統(tǒng),通過精密調(diào)節(jié)探針與樣品間的接觸壓力,既避免了對軟質(zhì)材料的損傷,又確保了測量過程的穩(wěn)定性。此外,設(shè)備搭載的攝像頭實(shí)時成像系統(tǒng),可同步觀察樣品區(qū)域與探針尖端的位置關(guān)系,輔助用戶精確定位特征結(jié)構(gòu),顯著提升測量效率。

作為國產(chǎn)科學(xué)儀器的突破性成果,JS系列臺階儀打破了國外品牌在高端表面測量設(shè)備領(lǐng)域的長期壟斷,憑借高性價比與本地化服務(wù)優(yōu)勢,成為國內(nèi)高校、科研機(jī)構(gòu)及制造企業(yè)的優(yōu)選設(shè)備。

? 特點(diǎn):

量測精確、操作便捷、體積小巧、超高性價比

? 應(yīng)用范圍:

▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量

▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數(shù)測量

▲ 各式薄膜等應(yīng)力測量

? 系統(tǒng)組成

▲ 臺階儀主機(jī)

▲ 電腦及顯示器

? 選配品

▲ 隔振臺

▲ 高度校準(zhǔn)標(biāo)樣

? 技術(shù)參數(shù)

JS10B

樣品

單片(厚度≤10mm)

樣品尺寸

≤150mm

樣品材質(zhì)

硅、鉭酸鋰、玻璃等(不透明,半透明)

重復(fù)性測量偏差

≤0.5nm(1σ 1um標(biāo)準(zhǔn)塊重復(fù)掃描30次)

最大測量范圍

80um

垂直分辨率

0.05nm 滿量程

探針加力范圍

0.5~50mg

力控制

恒定

采樣速度

200Hz

掃描方向

左右雙向

掃描最大采集點(diǎn)數(shù)

200萬點(diǎn)

掃描速度

5um/s - 100um/s

樣品臺運(yùn)動方式

可實(shí)現(xiàn)水平(X/Y),旋轉(zhuǎn)(RZ),手動控制

XY樣品臺行程

150mm(快慢速調(diào)節(jié))

Z樣品臺行程

10mm

樣品旋轉(zhuǎn)臺

±360°

標(biāo)準(zhǔn)探針

曲率半徑≥2um 角度60°(標(biāo)配)

亞微米探

曲率半徑≤1um 角度60°(選配)

軟件功能

臺階、粗糙度等表面形貌測量,應(yīng)力測量


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