實(shí)現(xiàn)1秒40次的超高速反饋控制！

精度±０.１％、可添加2通道控制處理、

多存儲(chǔ)功能（通過利用設(shè)定變化率限幅器、區(qū)域鏈接、滲透時(shí)間實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)易程序控制功能）、

級(jí)聯(lián)控制功能、功率前饋功能、2系統(tǒng)通信接口等等各種功能。

 最適合用于半導(dǎo)體制造過程中RTP(Rapid Thermal Process：急速加熱處理)操作