KLA公司全系列的力學(xué)測試產(chǎn)品均采用電磁驅(qū)動(dòng)原理的加載力激發(fā)器， iNano臺(tái)式納米壓痕儀。對納米壓痕物理模型和優(yōu)線性特性的電磁力驅(qū)動(dòng)原理的深刻理解，以及良好的靈敏度的三片式電容傳感器的設(shè)計(jì)，保證全系列納米力學(xué)產(chǎn)品在整個(gè)量程范圍內(nèi)均能得到高精準(zhǔn)、高分辨的控制。50mN載荷范圍，3nN加載精度，0.002nm位移精度。

? 快速準(zhǔn)確的動(dòng)態(tài)納米壓痕測試

? 電磁加載方式

? 快速準(zhǔn)確的位移測量

? 超高框架剛度

? 熱漂移 <0.05nm/s

主要功能

靜態(tài)/動(dòng)態(tài)納米壓痕：楊氏模量/硬度

連續(xù)剛度：高準(zhǔn)度薄膜測試，楊氏模量/硬度，<100nm

DMA功能：橡膠等粘彈性材料存儲(chǔ)模量/損耗系數(shù)

劃痕測試

高溫納米壓痕300℃

斷裂韌性測試

橫向加載，泊松比測試

3D/4D 楊氏模量/硬度mapping

?考慮到靈活性，iNano允許進(jìn)行廣泛的測試，包括但不限于頻率特定實(shí)驗(yàn)，存儲(chǔ)和損耗模量，模量和硬度（Oliver和Pharr）以及恒定應(yīng)變率。

?電磁執(zhí)行器用于Nanomechanics生產(chǎn)的所有系統(tǒng)，包括iNano。 這些執(zhí)行器是堅(jiān)固的線性裝置，固有地解耦力和位移。 它們的大力為50 mN，分辨率為3 nN，超低噪聲電流小于200 nN。

?iNano是時(shí)間常數(shù)為20微秒的商用納米壓痕儀，可同時(shí)滿足大壓痕行程50μm，噪聲<0.1 nm，數(shù)字分辨率0.02 nm，漂移率<0.05nm / s的規(guī)格要求。

?為確保業(yè)內(nèi)廣泛，可靠的數(shù)據(jù)，iNano能夠?qū)崿F(xiàn)0.1 Hz至1 kHz的動(dòng)態(tài)激勵(lì)頻率。

?樣品臺(tái)移動(dòng)Z軸為25 mm，X為100 mm，Y軸為150 mm，可測試各種樣品高度和大樣品區(qū)。

?載荷框架剛度> 1,000,000 N / m

?尖端校準(zhǔn)系統(tǒng)集成到軟件中，可實(shí)現(xiàn)快速，準(zhǔn)確和自動(dòng)的尖端校準(zhǔn)。

?可用的方法包含聚合物，薄膜和生物材料的提示，方法和標(biāo)準(zhǔn)

?可用劃痕選項(xiàng)，大正常載荷為50 mN，大劃痕距離為2.5 mm，大劃痕速度為500μm/ s。

?可用的遠(yuǎn)程視頻選件在iNano腔內(nèi)提供兩個(gè)不同的視角，除標(biāo)準(zhǔn)顯微鏡物鏡外還配有USB攝像頭。

使用可選的NanoBlitz拓?fù)浜蛿鄬訏呙柢浖Σ牧线M(jìn)行3D和4D映射。

應(yīng)用

Nanomechanics致力于測試各種材料和器件，獲得應(yīng)用數(shù)據(jù)和結(jié)果，以下應(yīng)用說明只是我們測試材料的很小一部分，如果您沒有在列表中看到您所需的應(yīng)用，請與我們聯(lián)系。很有可能我們已經(jīng)測試了一個(gè)類似的樣本。

聚合物動(dòng)態(tài)彈性性能的測試

描述像聚合物這樣的粘彈性材料是阻尼和振動(dòng)控制應(yīng)用的關(guān)鍵。 納米力學(xué)公司的核心技術(shù)可以將聚合物的動(dòng)態(tài)量表征為應(yīng)用頻率的函數(shù)。此外，該測試可以在生產(chǎn)的零件上完成，并且不需要傳統(tǒng)DMA測試設(shè)備的大體積和特定幾何形狀。

Dynamic Mechanical Analysis（DMA）of Polymers by Oscillatory Indention

脆性材料的壓痕斷裂韌性 

       脆性材料中抗裂紋擴(kuò)展性的機(jī)械性能稱為“斷裂韌性”。 傳統(tǒng)上，由于樣品制備測量該性質(zhì)可能是耗時(shí)且昂貴的。 使用立方角壓頭幾何形狀的壓痕測試，通過提供快速結(jié)果和大數(shù)據(jù)集來增強(qiáng)統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，從而有助于測量裂縫。 此外，壓痕可以提供關(guān)于裂紋初始載荷的信息，可用于比較不同的材料加工條件。 該技術(shù)也可以應(yīng)用于硬涂層，因其沒有標(biāo)準(zhǔn)的斷裂韌性幾何形狀。

高溫測試壓頭的尖端材料
Nanomechanics在鉬支架上提供單晶碳化鎢尖端，用于高溫測試應(yīng)用。 這些尖端的額定溫度超過1000°C，可提供各種尖端幾何形狀。這些尖端還具有高導(dǎo)電性，因此適用于原位和環(huán)境實(shí)驗(yàn)。

聚合物的應(yīng)變率靈敏度
聚合物的彈性形變通常表現(xiàn)出時(shí)間依賴性。此外，聚合物通常具有隨時(shí)間變化的塑性變形，

即蠕變。 納米力學(xué)公司的儀器完全能夠通過應(yīng)用應(yīng)變率和測量施加的壓力來表征聚合物和其他

材料的蠕變。 這些測試的信息對塑料加工中的成形性和擠出過程非常有用。

ISO 14577標(biāo)準(zhǔn)化硬度和彈性模量測試

來自Nanomechanics的iNano和iMicro納米壓痕儀符合ISO 14577標(biāo)準(zhǔn)化硬度測試。  作為參考，一些測量的壓痕彈性模量對照圖中右側(cè)彈性模量的傳統(tǒng)測量值繪制，適用于從聚合物到金屬到剛性陶瓷的各種材料。

生物相容性材料的復(fù)合剪切模量 

本應(yīng)用說明演示了iNano納米壓痕儀如何用于測試生物材料，并解釋了此類測試所需的特硬件，程序和分析。 可食用明膠用于該演示，因?yàn)樗哂信c組織相當(dāng)?shù)男再|(zhì)，可容易獲取并且制備方法是可控和可重復(fù)的。

循環(huán)壓痕測試

除了作為深度函數(shù)的屬性的動(dòng)態(tài)測量之外，Nanomechanics還提供執(zhí)行循環(huán)壓痕測試的能力。 我們的優(yōu)勢是速度，精度和準(zhǔn)確性。 圖中所示的每個(gè)加載 - 卸載循環(huán)在4秒內(nèi)完成，從而有效地測量彈性模量和硬度。

微球的納米力學(xué)測試：顆粒壓碎應(yīng)用

微球在現(xiàn)代生活中有著無數(shù)的用途。 中空微球用于降低制造材料的密度。 在現(xiàn)代液相色譜中，分析物被迫通過填充有玻璃微球的柱，從而使分析物的組分基于它們可以通過柱的速度而分離。 在電子封裝中，金屬化聚合物微球被包裝在一起以形成靈活，可靠的連接。 在這項(xiàng)工作中測試的玻璃微球被摻入油漆中以增強(qiáng)外觀和耐擦傷性。 在所有這些應(yīng)用中，了解微球的機(jī)械性質(zhì)是設(shè)計(jì)的關(guān)鍵方面。 通過硬件和測程序的相對較小的變化，InForce 50成為一般的小型壓縮測試系統(tǒng)。

薄膜：基板立彈性模量測量

了解薄膜的機(jī)械性能對于設(shè)計(jì)可靠的部件非常重要。 無論您是在硬質(zhì)基材上使用軟膜，還是在柔性基材上使用硬膜，Nanomechanics都擁有使用壓痕測試，表征基材立彈性模量的測試方法。 此外，我們通過提供低于20nm厚度的數(shù)據(jù)在某些情況下小于10nm，推動(dòng)薄膜測試的較為限。

CoorsTek TTZ氧化鋯和單晶氧化鋁的高速機(jī)械性能
    在這項(xiàng)工作中，我們使用標(biāo)準(zhǔn)化和先進(jìn)的儀表壓痕來測量兩種常見技術(shù)陶瓷的機(jī)械性能：CoorsTek TTZ氧化鋯和單晶氧化鋁。 通過標(biāo)準(zhǔn)化壓痕，我們測得TTZ的楊氏模量為249±9.7 GPa，維氏硬度為1600±65 kg / mm2; 我們同樣測得氧化鋁的楊氏模量為435±14GPa，維氏硬度為2820±100kg / mm2。 通過專有的壓痕技術(shù)（NanoBlitz 3D），我們生成了TTZ的機(jī)械性能圖，它闡明了初級立方氧化鋯相和顆粒間二氧化硅相之間的機(jī)械區(qū)別。