Contour 高精度三維形貌計(jì)量光學(xué)輪廓儀

Contour 高精度三維形貌計(jì)量光學(xué)輪廓儀融合了高級(jí)表征、可定制選項(xiàng)和易用性，可以提供快速、準(zhǔn)確和可重復(fù)的非接觸式三維表面計(jì)量方法。

它的操作和分析軟件系統(tǒng)提供了更易于使用的界面和簡(jiǎn)潔的功能，可以訪問(wèn)多種預(yù)編程濾鏡和分析工具，用于精密加工的表面，薄膜，半導(dǎo)體，眼科，醫(yī)學(xué)設(shè)備，MEMS和摩擦學(xué)等領(lǐng)域的測(cè)量分析，可用于表面粗糙度，RDLxian進(jìn)封裝工藝厚度等測(cè)試。

Contour 高精度三維形貌計(jì)量光學(xué)輪廓儀滿足計(jì)量要求，具有很好的Z軸分辨率和準(zhǔn)確性，并在更小的占地面積內(nèi)提供了布魯克白光干涉儀（WLl）落地式型號(hào)所具備的業(yè)界認(rèn)可的優(yōu)點(diǎn)。它對(duì)反射率從0.05%到100  %的各種表面都非常易于測(cè)量。

Contour 高精度三維形貌計(jì)量光學(xué)輪廓儀擁有三款型號(hào)，分別是GT100、GT200、GT500，它們的技術(shù)參數(shù)如下：

Contour 高精度三維形貌計(jì)量光學(xué)輪廓儀

型號(hào)	GT100	GT200	GT500
圖片
樣品臺(tái)區(qū)別	手動(dòng)樣品臺(tái)	自動(dòng)樣品臺(tái)	高級(jí)自動(dòng)化樣品臺(tái)
技術(shù)參數(shù)	掃描量程：≤10mm 垂直分辨率：＜0.01nm 水平分辨率：0.38μm min（Sparrow criterion），0.13μm（with AcuityXR） 臺(tái)階高度準(zhǔn)確性：＜0.75% 臺(tái)階高度重復(fù)性：＜0.1% 1 sigma repeatability 掃描速度：37μm/sec(with standard camera) 樣品傾角：≤40°（shiny surfaces），≤87°（rough surfaces） 樣品高度：≤100mm（4 in.）