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瑞士idonus濕法工藝晶圓卡盤
- 品牌：瑞士idonus
- 型號： WPWC Chuck
- 產(chǎn)地：歐洲 瑞士
- 供應(yīng)商報(bào)價：面議
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倬昊納米科技（上海）中心
更新時間：2024-04-21 22:44:05 -
銷售范圍售全國
入駐年限第4年
營業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產(chǎn)品MEMS研發(fā)制造設(shè)備(6件)
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詳細(xì)介紹
濕法工藝晶圓卡盤，用于在濕法蝕刻或電沉積過程中提供背面保護(hù)：我們提供晶片直徑在2～200 mm的晶圓卡盤。可根據(jù)要求制造定制卡盤。可制造用于KOH和HF蝕刻以及浸入其他化學(xué)品的卡盤。集成環(huán)形電極的卡盤可在電流沉積過程中使晶片上的電流密度分布均勻。可根據(jù)您的需求設(shè)計(jì)用于多個濕法加工晶圓卡盤的晶圓卡盤載體。大多數(shù)載體的設(shè)計(jì)完全適合我們客戶的蝕刻設(shè)備。
下面，我們列出一些用于濕法刻蝕微制造工藝的標(biāo)準(zhǔn)化學(xué)品，并與我們的晶圓卡盤是兼容的：
氫氟酸(氫氟酸)。
KOH(氫氧化鉀)。
TMAH(四甲基氫氧化銨)
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