1. 產品簡介

顯影機（WH-XY-02）是汶顥股份自主開發(fā)的具有獨立知識產權的一款產品，針對光刻工藝中的顯影過程而設計開發(fā)的，可以對7英寸以下規(guī)格的硅片進行程控式自動化顯影。該設備可完全替代微流控芯片制作過程中的手動顯影環(huán)節(jié)，克服了手動顯影過程中的顯影液加入量不可控、硅片顯影時間不可控、同規(guī)格硅片間隔顯影效果不可控，最大程度上減少操作人員人為因素導致的顯影質量問題以及硅片的損壞。

2. 技術參數

2 震蕩方向：順時針/逆時針

2 轉速：110～250RPM

2 液量控制：50～500mL

2 適配硅片/芯片：3寸,4寸,5寸

2 顯影時間：0～999s

2 進液速度：0～100%

2 電源輸入：AC220V±10V/50HZ

2 功率：150W

2 重量：14 kg

2 外形尺寸：375（W）* 380（D）* 300（H）mm

2 工作環(huán)境：溫度0℃-40 ℃，相對濕度＜80 %