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Horiba流量計(jì)SEC-E40，E50，E60質(zhì)量流量計(jì)

品牌：美國(guó)德威爾
型號(hào)： SEC-E40，SEC-E50，SEC-E60
產(chǎn)地：亞洲日本
供應(yīng)商報(bào)價(jià)：￥7800

上海進(jìn)申工貿(mào)有限公司更新時(shí)間：2020-08-11 10:00:07

銷售范圍售全國(guó)

入駐年限第9年

營(yíng)業(yè)執(zhí)照已審核

同類產(chǎn)品質(zhì)量流量控制器流量計(jì)(13件)

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Horiba流量計(jì)SEC-E40，E50，E60質(zhì)量流量計(jì) 核心參數(shù)

測(cè)量范圍	0-10SLM	準(zhǔn)確度	1%
介質(zhì)溫度	常溫	工作壓力	低于1MPa
管徑范圍	1/4

產(chǎn)品特點(diǎn)

Horiba SEC-E40，SEC-E50，SEC-E60 質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器
量程5SLPM，介質(zhì)N2，接口1/4”卡套

暢銷型號(hào): SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-341、SEC-441.
可選高精度數(shù)字式：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、E440J，

詳細(xì)介紹

Horiba SEC-E40，SEC-E50，SEC-E60 質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器

量程5SLPM-100SLPM，介質(zhì)N2，接口1/4”卡套

暢銷型號(hào): SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-341、SEC-441.

可選高精度數(shù)字式：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、E440J，

Horiba MFC被廣泛的應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、實(shí)驗(yàn)室、環(huán)境監(jiān)測(cè)儀中。尤其在擴(kuò)散爐中得到了廣大客戶的支持。適用于從微小流量0.2sccm到大流量500slpm的控制。

概要

· 適用于廣泛范圍的流量控制：在同一系列中，適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制

· 適用于廣泛的用途：在普通產(chǎn)業(yè)市場(chǎng)中，擁有眾多的銷售業(yè)績(jī)，引以為豪。

· 低成本：產(chǎn)品陣容中有力求具有成本優(yōu)勢(shì)的型號(hào)： SEC-E40MK3、SEC-E50MK3

技術(shù)規(guī)格

型號(hào)	SEC- (質(zhì)量流量控制器)	SEC-E40、SEC-E40MK3	SEC-E50、SEC-E50MK3
	SEF- (質(zhì)量流量計(jì))	SEF-E40	E50
適用氣體種類*1		非腐蝕性氣體(MK3型號(hào)適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)
氣體接觸部材質(zhì)		SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼
閥門型號(hào)		非通電時(shí)　關(guān)閉
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)		10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM	20/30 SLM
流量控制范圍 (適于SEC系列)		2?100% F.S.
流量測(cè)量范圍 (適于SEF系列)		0?100% F.S.
響應(yīng)速度		1秒以內(nèi)(T98)
流量精度		±1% F.S.
直線性		±0.5% F.S.
反復(fù)性		±0.2% F.S.
工作差壓值值 (適于SEC系列)		10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)　10?30 SLM:100?300kPa(d)
使用壓力 (適于SEF系列)		300kPa(G)以下
耐　壓		1MPa(G)以下
外部泄漏率		1×10-8Pa?m3/s(He)以下
使用環(huán)境溫度		5?50℃(精度的確保：15?35℃)
流量設(shè)定信號(hào)		0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.
流量輸出信號(hào)		0?5VDC(最小負(fù)荷電阻2kΩ)
驅(qū)動(dòng)電源		+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA	＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA
標(biāo)準(zhǔn)接頭*2		1/4SWL 類型

*1:關(guān)于記載以外的氣體種類，請(qǐng)另行咨詢協(xié)商。
*2也可以適用標(biāo)準(zhǔn)接頭以外的接頭。請(qǐng)另行咨詢協(xié)商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭載有自動(dòng)清零功能。
※入口壓力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3：最大值300kPa(G)；SEC-70/80：最大值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示氣體的流量單位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的記號(hào)。