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DLP/DMD光刻照明光源

品牌：昊量/auniontech
型號： DLP/DMD
產地：上海徐匯區(qū)
供應商報價：面議

上海昊量光電設備有限公司更新時間：2025-04-27 13:46:07

銷售范圍售全國

入駐年限第10年

營業(yè)執(zhí)照已審核

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產品特點

專為DLP9000或DLP9500等投影芯片應用的光刻解決方案的照明光源

詳細介紹

DLP/DMD光刻照明光源

昊量光電新推出LumiDLP光刻照明光源通過大面積提供高度均勻的通量密度為紫外DLP應用提供前所未有的速度和分辨率。模塊化設備結合了密集封裝的UV-LED陣列成為一種高效、非成像采集光學設備，集成了遠心成像光學優(yōu)化DLP芯片組。

這款DMD光刻光源為基于DLP技術的具有挑戰(zhàn)性的曝光應用提供出色的UV-LED照明。特別是要求蕞高強度和多波長光譜的設置非常適合。數(shù)值孔徑為0.2（光束角度±12°）和非常高的照明均勻性、這些構成DLP-芯片曝光的完美解決方案。

DLP/DMD照明器提供高達30W的光輻射功率。單波長和多波長設置可供選擇（365nm、385nm、395nm、405nm）。這款DLP/DMD光刻照明光源提供的輻射功率與汞放電燈相當、但具有LED技術的壽命和總成本優(yōu)勢。此外、DLP/DMD光刻照明光源還可以很好地替代基于單色激光二極管（例如、LD405nm）的照明器。

LumiDLP光刻照明光源是專為DLP9000和DLP9500芯片設計的、可以輕松集成到基于DMD的系統(tǒng)中。

DLP/DMD光刻照明光源產品亮點：

專為DLP?9000和DLP?9500設計
包括高性能LED驅動器、便于控制和編程
高強度性能能夠縮短/減少處理時間
由于頻譜寬廣、可以使用多種類型的抗蝕劑
不會過時的無汞光源
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DLP/DMD光刻照明光源產品規(guī)格：

輻射輸出功率	DLP9500蕞高30W DLP7000蕞高20W
波長配置	365nm、385nm、395nm、405nm Single and multi-wavelength setups available
光出口角	±12° 匹配DLP微鏡傾斜角度
照明均勻性和DMD芯片溢位	>90%均勻性 >10%溢位
熱管理	液體冷卻設置快速連接、無泄漏耦合所需入口溫度≤25℃ <25°
使用壽命	>3000h 模塊化、易于更換系統(tǒng)、蕞大限度減少停機時間
LED-驅動器	每個通道0-3A、每個LED陣列18個通道恒流、可調光、脈寬調制
外部接口	USB 2.0 10/100Mbps以太網 RS-232 (TIA-232-F)
程序	串行（USB）和遠程登錄（以太網）通信命令集
尺寸和重量	照明器：27.5cm×8cm×8.5cm 驅動器：23cm×29cm×4.5cm
重量	照明器：~1.5kg 驅動器：~2kg