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德國普發(fā)檢漏儀 ASM390 / 392

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德國普發(fā)檢漏儀 ASM390 / 392 核心參數(shù)
最小檢漏率 1 · 10-13 Pa m3/s 啟動時間 2min

產(chǎn)品特點

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390, ASM 392 優(yōu)勢:
1. 強大的抽空能力
2. 極短的測試時間,
3. 大尺寸彩色觸摸屏, 無需任何工具即可完全旋轉(zhuǎn)和拆卸
4. 符合人體工學設計, 移動性強
5. 通過 CE 認證, ETL 認證, UL61010 合規(guī), 完全符合 Semi S2 標準
6. 可用于半導體相關(guān)行業(yè)和平板顯示器行業(yè)以及其他要求極高的應用

詳細介紹

ASM390 / 392

產(chǎn)品優(yōu)勢

客戶收益

   

可操作性高、設計緊湊

即使在狹小的空間中也可輕松進入測試區(qū)域

在同級別前級泵中具有最 高抽速 (35 m3/h) 以及高氦氣抽速 (10 或 25 l/s)

快速、準確、可靠的泄漏檢測

集成置物空間,可存放工具、真空波紋管和配件等

便于配件使用及管理

選型資料下載
說明書下載

Pfeiffer Vacuum

Units

ASM 392

Test Method


Vacuum & Sniffing

Detectable gases


4He,3He,H2

Min detectable leak – vacuum

mbar l/s

≤ 1 · 10-12

Min detectable leak – sniffing

mbar l/s

≤ 1 · 10-8

Pumping speed for He

l/s

25

Maximum inlet test pressure

hPa

20

Backing pump type

type

friction-less ACP pump

Backing Pump Capacity

m3/h

35

Communications Interface


RS232, Digital, Analog

Start-up time (20° C)

min

<2

Operating Temp

celsius

10° to 35°

Dimensions

mm

1072 x 454 x 1025

Weight

kg

130

    移動式氦質(zhì)譜檢漏儀ASM392行業(yè): 大腔體,快節(jié)拍的應用。


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