分享 收藏

高校實(shí)驗(yàn)室直流磁控濺射儀

品牌：鄭州科探儀器
型號： KT-Z1650PVD
產(chǎn)地：河南鄭州
供應(yīng)商報(bào)價(jià)：￥39800

鄭州科探儀器設(shè)備有限公司更新時(shí)間：2024-08-08 16:25:57

銷售范圍售全國

入駐年限第3年

營業(yè)執(zhí)照已審核

同類產(chǎn)品小型濺射儀(9件)

立即掃碼咨詢

聯(lián)系方式：400-822-6768

聯(lián)系我們時(shí)請說明在儀器網(wǎng)（yn180.com）上看到的!

掃碼分享

為您推薦

產(chǎn)品特點(diǎn)

超高溫蒸鍍儀，7寸人機(jī)界面控制，手動自動模式可切換，Z大功率1200w，電動擋板保護(hù)樣品。

詳細(xì)介紹

水冷型磁控濺射儀，7寸人機(jī)界面，自動手動模式切換控制，最1大功率1000w直流磁控濺射

單靶直流磁控濺射鍍膜儀可用于制備單層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜等。該單靶磁控濺射鍍膜儀與同類設(shè)備相比，其不僅應(yīng)用廣泛，且具有體積小便于操作的優(yōu)點(diǎn)，是一款實(shí)驗(yàn)室制備材料薄膜的理想設(shè)備，特別適用于實(shí)驗(yàn)室研究固態(tài)電解質(zhì)及OLED等

單靶直流磁控濺射鍍膜儀是我公司自主研發(fā)的一款高性價(jià)比磁控濺射鍍膜設(shè)備，具有標(biāo)準(zhǔn)化、模塊化、可定制化的特點(diǎn)。

所配電源為1000W大功率直流電源，可用于高能量的金屬濺射鍍膜，根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求也可以選配其他規(guī)格的直流或者射頻電源來實(shí)現(xiàn)各種材料的鍍膜操作。

水冷型磁控濺射儀技術(shù)參數(shù)；

控制方式	7寸人機(jī)界面手動自動模式切換控制
濺射電源	直流濺射電源
鍍膜功能	0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
功率	≤1000W
輸出電壓電流	電壓≤1000V 電流≤1A
真空	機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘）分子泵≤5*10^-3Pa
濺射真空	≤30Pa
擋板類型	電控
真空腔室	石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm
樣品臺	可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底）
樣品臺轉(zhuǎn)速	8轉(zhuǎn)/分鐘
樣品濺射源調(diào)節(jié)距離	40-105mm
真空測量	皮拉尼真空計(jì)（已安裝測量范圍10E5Pa 1E-1Pa）
預(yù)留真空接口	KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口