F54-XY-200 薄膜厚度測量儀

自動薄膜厚度測繪系統(tǒng)

借助F54-XY-200光譜反射系統(tǒng)，可以輕松地測量尺寸達200 x 200mm樣品的薄膜厚度電動XY工作臺自動移動到選定的測量點并提供厚度測量，達到每秒兩點。您可以從數十種預定義的極性，矩形或線性測量坐標圖案中選擇，也可以創(chuàng)建自己編輯的測量點數量。此桌面系統(tǒng)只需幾分鐘即可完成設置，任何具有基本計算機技能的人都可以使用。

圖案表面的顯微測量

F54-XY-200具有集成的顯微鏡和實時攝像頭，可以精確監(jiān)控膜厚測量點。小尺寸的測量光斑允許測量有圖案的樣品，并且可以改善在較粗糙的材料上的測量性能。

FILMAPPER軟件-測量自動化測繪模式生成器

內置的測繪圖案生成器使您可以輕松的生成測量樣品相關區(qū)域所需的坐標圖案，從而節(jié)省了數據采集時間。以下是您可以調整的自定義測繪屬性的一些參數:

• 樣品形狀:圓形或矩形

• 徑向，矩形或線性圖案

• 中心和邊緣去除

• 點密度