TC Wafer熱電偶晶圓測(cè)溫系統(tǒng) 晶圓硅片測(cè)溫?zé)犭娕?光刻機(jī)晶圓溫度測(cè)量系統(tǒng)

引言

半導(dǎo)體行業(yè)的高速發(fā)展使得晶圓制造過(guò)程的溫度控制變得至關(guān)重要。溫度變化可能會(huì)對(duì)晶圓的性能、質(zhì)量和產(chǎn)量產(chǎn)生直接影響。為了實(shí)現(xiàn)更精確的溫度監(jiān)測(cè)和控制，TC Wafer熱電偶晶圓測(cè)溫系統(tǒng)應(yīng)運(yùn)而生。

TC為熱電偶的簡(jiǎn)稱(chēng)， TC Wafer是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器，可以實(shí)現(xiàn)晶圓表面溫度的實(shí)時(shí)測(cè)量。借助于放置在晶圓表面特定位置之溫度傳感器，可獲得這些特定位置的真實(shí)溫度測(cè)量值以及整天晶圓溫度分布。

產(chǎn)品介紹

TC Wafer熱電偶晶圓測(cè)溫系統(tǒng)是將高精度溫度傳感器鑲嵌在晶圓表面，對(duì)晶圓表面的溫度進(jìn)行實(shí)時(shí)測(cè)量。通過(guò)晶圓的測(cè)溫點(diǎn)了解特定位置晶圓的真實(shí)溫度，以及晶圓整體的溫度分布，同還可以監(jiān)控半導(dǎo)體設(shè)備控溫過(guò)程中晶圓發(fā)生的溫度變化，獲得升溫、降溫以及恒溫過(guò)程期間的溫度溫度數(shù)據(jù)，從而了解半導(dǎo)體設(shè)備的溫度均勻度。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

高精度：由于其直接嵌入在晶圓表面，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓溫度的實(shí)時(shí)、精確監(jiān)測(cè)。

可靠性：傳感器材料穩(wěn)定，適應(yīng)長(zhǎng)期運(yùn)行，不易受到外界干擾。

高靈敏度：微小的溫度變化也能被傳感器準(zhǔn)確地捕捉，確保制程的穩(wěn)定性。

即時(shí)性：傳感器的實(shí)時(shí)性能使得生產(chǎn)線(xiàn)上的溫度調(diào)整能夠迅速響應(yīng)，減少生產(chǎn)過(guò)程中的溫度波動(dòng)。

TC Wafer熱電偶晶圓測(cè)溫系統(tǒng) 晶圓硅片測(cè)溫?zé)犭娕?光刻機(jī)晶圓溫度測(cè)量系統(tǒng)