Qualifire 為 Zygo 激光干涉儀產(chǎn)品線帶來了這些嶄新的功能和改進(jìn):

• 智能附件接口—干涉儀可以自動識別安裝的“智能附件”，并自動加載應(yīng)用系統(tǒng)誤差文件以及進(jìn)行橫向校準(zhǔn)。

• 體積小、重量輕 —Qualifire 系列中最小的型號重約 45 磅（20.4 千克）。 它是真正的便攜式設(shè)備，尤其適用于經(jīng)常移動或調(diào)整干涉儀的復(fù)雜、精密應(yīng)用需求中。

• 集成式移相器（PMR）—PMR 是在被測元件和參考光學(xué)元件之間調(diào)制干涉條紋所必需的，最終形成定量的面型圖。PMR集成式設(shè)計可提供： :

• 整體機(jī)械穩(wěn)定性和校準(zhǔn)

• 降低損壞和未對準(zhǔn)的風(fēng)險

• 確保性能一致，減少重新校準(zhǔn)的需要

• 優(yōu)化的用戶體驗(yàn) —更易于使用，有優(yōu)化的電源按鈕和機(jī)械安裝支腳。更大的控制旋鈕可實(shí)現(xiàn)更精確的調(diào)整，這對于對準(zhǔn)和校準(zhǔn)都至關(guān)重要。 集成式的手柄確保操作安全可靠。

• 更便利的維修 —密封的光學(xué)系統(tǒng)和集成的電子元件使各種組件的更換變得簡單，而且光學(xué)元件不會暴露在污染物/灰塵環(huán)境中。

• 飛點(diǎn)模塊—用于減少偽影的可選模塊，包括自動對焦功能。

• 穩(wěn)定變焦 —提供了一種嶄新的變焦方法，使得在所有放大倍率下均能實(shí)現(xiàn)良好的圖像配準(zhǔn)和衍射限制下的圖像采樣。