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液冷制冷機(jī)

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產(chǎn)品特點(diǎn)

應(yīng)用于晶圓測試的高低溫冷熱臺(tái)(晶圓測試載物臺(tái))chuck的加熱制冷控溫,載冷劑采用硅油或氟化液循環(huán)精確控溫,液冷制冷機(jī)主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成??刂葡到y(tǒng)采用PID控制技術(shù),高清觸摸屏顯示,設(shè)有多項(xiàng)保護(hù)功能,確保設(shè)備安全運(yùn)行。通過機(jī)組自身的加熱與冷卻,向外界輸送載熱流體,滿足工藝條件。

詳細(xì)介紹


設(shè)備控溫范圍:-80℃~200℃
Chuck盤面控制溫度:-60℃
溫度穩(wěn)定性:±0.1℃
制冷系統(tǒng):采用雙極壓縮制冷系統(tǒng)
定制:可按要求定制-60℃液冷制冷機(jī)

型號(hào)液冷制冷機(jī)
設(shè)備名稱PTHC系列低溫液冷機(jī)
制冷方式雙級(jí)復(fù)疊制冷
操作面板7英寸彩色觸摸屏,中文顯示,操作簡便 、顯示直觀, 可顯示 、記錄 溫度曲線和測試數(shù)據(jù)
載冷劑氟化液或硅油
全密閉系統(tǒng)管道材質(zhì):SUS304,采用全密閉式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
介質(zhì)溫度范圍-80℃ ~ 200℃
溫度精度出口溫度±0.5 ℃
溫度穩(wěn)定性± 0.1 ℃
溫度反饋設(shè)備導(dǎo)熱介質(zhì)溫度反饋PT100 (回口溫度 、 出口溫度) ,控晶圓測試chuck盤溫度
控溫對(duì)象設(shè)備導(dǎo)熱介質(zhì)出口溫度 (可選擇控制物料溫度)
顯示分辨率0.01K
通信協(xié)議MODBUS RTU協(xié)議、RS 485接口+以太網(wǎng)接口
外部輸入外置測溫傳感器端口 、USB數(shù)據(jù)接口
存儲(chǔ)功能試驗(yàn)執(zhí)行時(shí), 可實(shí)時(shí)顯示圖形曲線, 顯示內(nèi)容;溫度設(shè)定實(shí)際值,執(zhí) 行程序周期,程序執(zhí)行中具有跳文件,保持功能。
冷凝方式風(fēng)冷
安全防護(hù)設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)實(shí)時(shí)顯示,故障信息自動(dòng)診斷, 多項(xiàng)報(bào)警保護(hù): 電源故 障 ,壓縮機(jī)過載 、循環(huán)泵熱過載 、制冷低壓報(bào)警 、 制冷高壓報(bào)警 、超 溫 、溫度模塊故障 、 電加熱防干燒設(shè)計(jì)等保護(hù)功能。


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