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QuickOCT-4D —膜厚輪廓儀
- 品牌：Opto Alignment
- 型號： QuickOCT-4D
- 產(chǎn)地：歐洲 德國
- 供應(yīng)商報價：面議
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岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司
更新時間：2024-08-07 14:35:12 -
銷售范圍售全國
入駐年限第7年
營業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產(chǎn)品彩色共聚焦輪廓儀(4件)
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產(chǎn)品特點
- QuickOCT-4D? 將單點可見光光譜域光學(xué)相干斷層掃描 （SD-OCT） 傳感器與高速納米編碼的 X/Y/Z 運動控制平臺相結(jié)合，可以在高達 66 kHz 的單次測量中捕獲透明薄膜樣品中每層的平面。QuickOCT-4D? 穿透深度（高達 100μm）和軸向分辨率 （5nm） 針對半導(dǎo)體、生命科學(xué)和制藥行業(yè)的多層透明薄膜、平面基板和功能層的測量進行了優(yōu)化。
詳細介紹
產(chǎn)品介紹：
QuickOCT-4D? 將單點可見光光譜域光學(xué)相干斷層掃描 （SD-OCT） 傳感器與高速納米編碼的 X/Y/Z 運動控制平臺相結(jié)合，可以在高達 66 kHz 的單次測量中捕獲透明薄膜樣品中每層的平面。QuickOCT-4D? 穿透深度（高達 100μm）和軸向分辨率 （5nm） 針對半導(dǎo)體、生命科學(xué)和制藥行業(yè)的多層透明薄膜、平面基板和功能層的測量進行了優(yōu)化。
系統(tǒng)特點
· 緊湊的臺式裝置，帶環(huán)境外殼
· 單點、非接觸式、可見光、光譜域光學(xué)相干斷層掃描 （SD-OCT） 傳感器，測量速率高達 66 kHz
· 針對測量高反射材料上多層透明薄膜的形貌和厚度進行了優(yōu)化
· 納米編碼的 X/Y/Z 運動，帶有磁性直線電機和交叉滾子軸承，可在 100mm （X）、100mm （Y）、50mm （Z） 上快速光柵或螺旋掃描
· 可用于樣品和托盤固定的真空吸盤
· 用戶友好的 CalcuSurf-4D? 配方生成、數(shù)據(jù)采集、表面形貌和多層薄膜分析軟件允許優(yōu)化測量采樣密度，從而在蕞高通量下實現(xiàn)蕞佳覆蓋
SD-OCT技術(shù)概述
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滬公網(wǎng)安備 31011502008050號