Filmetrics 白光干涉儀（3D光學(xué)輪廓儀）
 

　　Profilm3D的解析力

　　每臺Profilm3D帶有直觀的粗糙度，表面形貌和臺階高度的測量軟件。所有常見如ISO 25178 所規(guī)范的粗糙度參數(shù)都支持，也包括軟件功能用于形貌分析， 如形狀去除和波長過濾，都包含在基本Profilm3D軟件。對于更進(jìn)階的功能，F(xiàn)ilmetrics提供了我們的合作伙伴TrueGage的TrueMap軟件可進(jìn)一步處理 Profilm3D數(shù)據(jù)， 這當(dāng)然也與業(yè)界其他標(biāo)準(zhǔn)分析軟件兼容。
 

　　其他輪廓儀列為選備的功能已經(jīng)是我們的標(biāo)準(zhǔn)配備

　　為什么需要額外支付每位使用者所需要的功能？每臺Profilm3D都已標(biāo)配自動化X/Y平臺包含tip/tilt 功能。
 

　　以我們的階高標(biāo)準(zhǔn)片建立標(biāo)準(zhǔn)

　　每臺Filmetrics 白光干涉儀（3D光學(xué)輪廓儀）配備了一個10微米階高標(biāo)準(zhǔn)片，可達(dá)0.5%準(zhǔn)確度。另我們還提供具有100nm，2微米以及4微米等多階高標(biāo)準(zhǔn)片。
 

　　大視場

　　The Profilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寬廣的2毫米視野, 其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時切換多個物鏡的需要。 更進(jìn)一步減少總體成本。 本司也提供手動或自動物鏡切換炮塔等配置可彈性運用于需使用多物鏡應(yīng)用之樣。
 

　　白光干涉儀（3D光學(xué)輪廓儀）常見的選購配件：

　　主動式防震臺

　　4微米，2微米， 和100納米多臺階高度標(biāo)準(zhǔn)。1.25英寸方形硅片上鍍鉻

　　手動4-物鏡炮塔及位置感測

　　自動4-物鏡炮塔及位置感測