· 型號：SE300BM
· 探測器：陣列探測器
· 光源：高功率的DUV-Vis-NIR復合光源
· 指示角度變化：手動調(diào)節(jié)
· 平臺：ρ-θ配置的自動成像
· 軟件：TFProbe 3.2版本的軟件
· 計算機：Inter雙核處理器、19”寬屏LCD顯示器
· 電源：110–240V AC/50-60Hz，6A
· 保修：一年的整機及零備件保修

規(guī)格： 
· 波長范圍：250nm到1000 nm
· 波長分辨率: 1nm
· 光斑尺寸：1mm至5mm可變
· 入射角范圍：0到90度
· 入射角變化分辨率：5度 間隔
· 樣品尺寸：最大直徑為300mm
· 基板尺寸：最多可至20毫米厚
· 測量厚度范圍*：0nm?10μm
· 測量時間：約1秒/位置點 
· 精確度*：優(yōu)于0.25％
· 重復性誤差*：小于1 ?

選項:                  
· 用于反射的光度測量或透射測量
· 用于測量小區(qū)域的微小光斑
· 用于改變?nèi)肷浣嵌鹊淖詣恿拷瞧?/span>
· X－Y成像平臺(X-Y模式，取代ρ-θ模式)
· 加熱/致冷平臺
· 樣品垂直安裝角度計
· 波長可擴展到遠DUV或IR范圍
· 掃描單色儀的配置
· 聯(lián)合MSP的數(shù)字成像功能，可用于對樣品的圖像進行測量

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