聚合物筆無掩模光刻納米制造系統(tǒng)（polymer pen lithography）聚合物筆納米無掩模光刻制造系統(tǒng)PPL, 使用可達(dá)160000筆尖的陣列，采用蘸筆光刻DPN的方式，將待沉積的材料（墨水）浸蘸在筆尖陣列上，筆尖可控的與基底表面接觸，從而在基底表面批量成型所需圖案，加工納米微米圖案無需光掩膜，且在平方厘米范圍內(nèi)達(dá)到200納米以下的分辨率，可應(yīng)用于納米粒子合成，蛋白陣列，單細(xì)胞排布，納米電路構(gòu)造、生物芯片、化學(xué)檢測、微尺度催化反應(yīng)、分子馬達(dá)等領(lǐng)域。此設(shè)備在國際上屬于基于聚合物筆光刻(PPL)技術(shù)的納米制造系統(tǒng)，PPL技術(shù)是美國Tera-print公司獨(dú)有的技術(shù)。

產(chǎn)品概述和特點(diǎn)

主要特點(diǎn)

- 高分辨率，可達(dá)低于100nm的分辨率；

- 高通量模式，可達(dá)160000針尖輸出制作結(jié)構(gòu)；

- TERA-FAB M系列可制作厘米級(jí)材料尺寸；

- 無需掩模，即時(shí)性改變輸出機(jī)構(gòu)，可廣泛適應(yīng)軟質(zhì)和硬質(zhì)材料；

- 軟硬件友好，非專業(yè)人士可在幾小時(shí)培訓(xùn)后，熟練使用。

A）一張4英寸的PPL陣列，有1100萬支筆尖。

B）陣列內(nèi)納米尺度彈性材料的掃描電子顯微照片及內(nèi)嵌圖像；

C）由PPL技術(shù)打印的多種蛋白示意圖。各針尖陣列蘸上不同的打印墨水（蛋白）；

D）熒光光學(xué)顯微圖的結(jié)果，PPL合成了多路熒光標(biāo)記蛋白的圖案。