儀器由主機(jī)和控制系統(tǒng)、專用工具、操作軟件及附件組成。主要用于化學(xué)、材料科學(xué)（納米材料、高分子、聚合物、半導(dǎo)體等）、生命科學(xué)以及相關(guān)領(lǐng)域的研究工作，對(duì)各種材料、化工產(chǎn)品、生物制品、非金屬礦及深加工產(chǎn)品等進(jìn)行觀測，并對(duì)其表面形貌進(jìn)行分析。

掃描隧道顯微鏡功能：恒流模式、恒高模式、I(Z)譜、I(V)譜

原子力顯微鏡功能：形貌成像、相位成像、磁力顯微鏡、靜電力顯微鏡、擴(kuò)展電阻成像、開爾文探針顯微鏡、力－距離曲線、振幅－距離曲線、I(V)譜

刻蝕功能：力刻蝕、電流刻蝕、矢量刻蝕