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日本JEOL大功率電子槍/電源EBG-300UA,JEGB-1000UB,JEBG-3000UB

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產(chǎn)品特點(diǎn)

日本JEOL 大功率電子槍/電源EBG-300UA,JEGB-1000UB,JEBG-3000UB,是在真空中蒸發(fā)或熔解金屬及氧化物的大功率電子束發(fā)生源,能在不斷輸送中的寬幅塑料和大面積玻璃基板上高速率地連續(xù)鍍膜,此外在電子束熔煉時(shí),可用于高熔點(diǎn)金屬錠的生產(chǎn)及提純。

詳細(xì)介紹

大功率電子槍/電源EBG-300UA,JEGB-1000UB,JEBG-3000UB

 

13. EBG-300US.jpg?

 

JEBG系列大功率電子槍是在真空中蒸發(fā)或熔解金屬及氧化物的大功率電子束發(fā)生源,能在不斷輸送中的寬幅塑料和大面積玻璃基板上高速率地連續(xù)鍍膜,此外在電子束熔煉時(shí),可用于高熔點(diǎn)金屬錠的生產(chǎn)及提純。

 

產(chǎn)品規(guī)格:

型號(hào)

EBG-300UA

JEBG-1000UB

JEBG-3000UB

最 大輸出功率

30kW

(20kV, 1.5A)

100kW

(30kV, 3.4A)

300kW

(40kV, 7.5A)

最 大偏轉(zhuǎn)角

±30°

掃描范圍

X, Y 軸

最 大掃描頻率

300Hz

200Hz

200Hz

(300Hz: 選配)

適用電源

ST-30BE2

JST-100C

JST-300CHR

 

產(chǎn)品特點(diǎn):

· JEBG系列大功率電子槍是在真空中蒸發(fā)或熔解金屬及氧化物的大功率電子束發(fā)生源,能在不斷輸送中的寬幅塑料和大面積玻璃基板上高速率地連續(xù)鍍膜,此外在電子束熔煉時(shí),可用于高熔點(diǎn)金屬錠的生產(chǎn)及提純。

· 電子束能大范圍地快速掃描,通過專用の控制裝置和軟件,能生成各種電子束照射圖形和區(qū)域。由于能夠在各個(gè)照射位置上設(shè)定掃描、停留時(shí)間、輸出功率及電子束形狀,因而能夠控制熔融面和膜厚分布。

 

  • 用途

· 真空蒸鍍

· 阻隔膜、保護(hù)膜、電極膜、導(dǎo)電膜、磁性膜等薄膜的形成。

· 真空熔解

· 生產(chǎn)和提煉Ti、Ta、Nb、 Mo等高熔點(diǎn)金屬錠。

· 提煉太陽能電池多晶硅


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