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DENTON 磁控濺射及電子束蒸發(fā)薄膜沉積平臺

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DENTON 真空使創(chuàng)新成為可能,并已超過50年。

全 球成千上萬的薄膜沉積工具安裝,包括一個大型的、在全 球范圍內(nèi)安裝的精密光學(xué)沉積系統(tǒng)——工程師和研究人員依靠DENTON 的薄膜創(chuàng)新驅(qū)動更高的吞吐量,更好的收益和低擁有成本(首席運營官),受益于綜合服務(wù)和支持,和一個專門的研發(fā)項目,提供可行的技術(shù)。

探索者提供了薄膜工業(yè)中最廣泛的配置和沉積模式:電子束蒸發(fā)、電阻蒸發(fā)、濺射、離子鍍和離子輔助沉積。

DENTON 薄膜沉積平臺

?R & D

?批量生產(chǎn)

?在線生產(chǎn)

?蒸發(fā)

?濺射

?PE-CVD

 

DENTON 的區(qū)別

你們的過程就是我們的過程。

我們與您合作設(shè)計一個系統(tǒng),以解決您的確切薄膜涂裝工藝的需要。當我們給你運送工具時,它已經(jīng)準備好生產(chǎn)了。

?我們的系統(tǒng)規(guī)模可以滿足您的生產(chǎn)需求

?我們永遠相信客戶

?全 球支持網(wǎng)絡(luò)

 

在DENTON,我們關(guān)心你的成功

?工廠驗收測試

?個性化培訓(xùn)

?遠程、實時支持

?CE / UL / CSA兼容系統(tǒng)



 

能濺射

電、磁、復(fù)合材料。柔性陰極,調(diào)整到?jīng)_擊角也可用。

 

強大的控制系統(tǒng)

可在半手動模式或全自動模式與一個推動自動化,以減少系統(tǒng)停機時間。
 

Processpro升級提供:

1.所有登頓真空產(chǎn)品的一致性控制。

2.標準軟件使其易于支持和避免昂貴的定制費用。

3.源代碼為您的程序,以便您可以自定義您的程序。

4.網(wǎng)絡(luò)功能使資源管理器

網(wǎng)絡(luò)上支持實時、遠程支持和升級的節(jié)點。


 

靈活的室大小

可容納多達10英寸的襯底。


 

多個泵配置

多種擴散、低溫和渦輪泵配置可用于滿足您的預(yù)算和工藝。后方或底部安裝的泵提供方便的訪問服務(wù),根據(jù)您的工作場所的需要。


典型的應(yīng)用

PE-CVD

?材料研究

?小批處理系統(tǒng)

?3 d對象

?覆蓋各種材料

 

濺射

?材料研究

?產(chǎn)品質(zhì)量控制和質(zhì)量保證

?半導(dǎo)體失效分析

?CD掌握

?納米技術(shù)

?化合物半導(dǎo)體

?oled

 

蒸發(fā)

?材料研究

?離子輔助沉積(IAD)

?醫(yī)療設(shè)備

?電信

?CD掌握

?發(fā)射

?保護涂層



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