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高性能隔振平臺
- 品牌：卓立漢光
- 型號： DVID系列-C型
- 產(chǎn)地：亞洲 韓國
- 供應(yīng)商報價：面議
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北京卓立漢光儀器有限公司
更新時間：2025-05-08 09:53:19 -
銷售范圍售全國
入駐年限第10年
營業(yè)執(zhí)照已審核
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詳細介紹
特點:
◆作為半導(dǎo)體FAB用，可在Class 1潔凈的室內(nèi)環(huán)境中使用
◆所有材料均用不銹鋼制作，可防腐蝕或退色問題。
◆安裝有防靜電裝置與能夠保持潔凈室內(nèi)空氣潔凈度的集中排氣回收器具。
◆為減少潔凈室內(nèi)空氣阻力使用打孔結(jié)構(gòu)的上板。
◆打磨焊接珠等粗糙物，便于使用擦拭器，不存在能夠積塵的縫隙或彎曲部位。技術(shù)指標(biāo)
◆固有頻率: 1.2Hz ~ 2.0Hz
◆隔振效率:
at 10Hz : 75% ~ 95%
at 20Hz : 85% ~ 98%
◆水平復(fù)位精度 : ±0.1
◆靜負載 : 500kg
◆自重 : 150 ~ 250kg
◆材料 : 支架及頂部：不銹鋼
頂蓋：不銹鋼
◆工作氣源 : 3~5kg/cm2 壓縮空氣或瓶裝液氮
◆阻尼形式:孔式空氣阻尼
用途
探針臺、顯微鏡、Mask、aligner、A.F.M、S.T.M、
薄膜厚度形狀測定儀、其它半導(dǎo)體相關(guān)檢驗裝備。技術(shù)資料
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