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OLS4500掃描探針顯微鏡

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產(chǎn)品特點(diǎn)

OLS4500為您帶來最新的解決方案
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實(shí)現(xiàn)納米級(jí)觀測(cè)的新型顯微鏡。不會(huì)丟失鎖定的目標(biāo)。
電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器切換倍率和觀察方

詳細(xì)介紹

OLS4500實(shí)現(xiàn)了無縫觀察和測(cè)量

【發(fā)現(xiàn)】可以迅速發(fā)現(xiàn)觀察對(duì)象

 使用光學(xué)顯微鏡的多種觀察方法, 迅速找到觀察對(duì)象

OLS4500采用了白色LED光源, 可以觀察到顏色逼真的高分辨率彩色影像。它裝有4種物鏡, 涵蓋了低倍到高倍的大范圍觀察。OLS4500充分發(fā)揮了光學(xué)觀察的特長, 除了常使用的明視場(chǎng)觀察(BF)以外, 還可以使用對(duì)微小的凹凸添加明暗對(duì)比, 達(dá)到視覺立體效果的微分干涉觀察(DIC), 以及用顏色表現(xiàn)樣品偏光性的簡(jiǎn)易偏振光觀察。此外, OLS4500上還配有HDR功能(高動(dòng)態(tài)范圍功能), 該功能使用不同的曝光時(shí)間拍攝多張影像后進(jìn)行合成, 來顯示亮度平衡更好、強(qiáng)調(diào)了紋理的影像。在OLS4500上您可以使用多種觀察方法迅速找到觀察對(duì)象。

使用激光顯微鏡,可以觀察到光學(xué)顯微鏡中難以觀察到的樣品影像

OLS4500采用了短波長405 nm的激光光源和高N.A.的專用物鏡, 實(shí)現(xiàn)了優(yōu)異的平面分辨率。能以鮮明的影像呈現(xiàn)出光學(xué)顯微鏡中無法看到的觀察對(duì)象。在激光微分干涉(DIC)模式中還可以實(shí)時(shí)觀察納米級(jí)的微小凹凸。

【接近】迅速發(fā)現(xiàn)觀察對(duì)象,在SPM上正確完成觀察

實(shí)現(xiàn)了無縫觀察,不會(huì)丟失觀察對(duì)象

OLS4500在電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器上裝配了涵蓋低倍到高倍觀察的4種物鏡, 以及小型SPM單元。在光學(xué)顯微鏡或激光顯微鏡的50倍、100倍的實(shí)時(shí)觀察中, 由于SPM掃描范圍一直顯示于視場(chǎng)中心, 所以把觀察目標(biāo)點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)該位置后, 只要切換到探針顯微鏡, 就能夠正確接近觀察對(duì)象。因此, 只需1次SPM掃描就能獲取目標(biāo)影像, 從而能夠提高工作效率并降低微懸臂的損耗。

OLS4500能夠根據(jù)您的測(cè)量目的分析在各種測(cè)量模式中獲取的影像,并以CSV格式輸出測(cè)量結(jié)果。OLS4500有以下分析功能。

·          

截面形狀分析(曲率測(cè)量、夾角測(cè)量)

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粗糙度分析

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形態(tài)分析(面積、表面積、體積、高度、柱狀值、承載比)

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·          

評(píng)價(jià)高度測(cè)量(指定線、指定面積)

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粒子分析(選項(xiàng)功能)

跟從向?qū)М嬅娴闹甘荆?可輕松操作的6種SPM測(cè)量模式

  

接觸模式

控制微懸臂與樣品之間作用的排斥力為恒定的同時(shí), 使微懸臂進(jìn)行靜態(tài)掃描, 在影像中呈現(xiàn)樣品的高度。還可以進(jìn)行彎曲測(cè)量。

裝配了激光掃描顯微鏡,靈活應(yīng)對(duì)多種樣品

  

輕松檢測(cè)85°尖銳角

采用了有著高N.A. 的專用物鏡和專用光學(xué)系統(tǒng)(能大限度發(fā)揮405 nm 激光性能),LEXT OLS4500 可以精確地測(cè)量一直以來無法測(cè)量的有尖銳角的樣品。

高度分辨率10 nm,輕松測(cè)量微小輪廓

由于采用405 nm的短波長激光和更高數(shù)值孔徑的物鏡, OLS4500達(dá)到了0.12 μm的平面分辨率。因此, 可以對(duì)樣品的表面進(jìn)行亞微米的測(cè)量。結(jié)合高精度的光柵讀取能力和奧林巴斯獨(dú)有的亮度檢測(cè)技術(shù), OLS4500可以分辨出亞微米到數(shù)百微米范圍內(nèi)的高度差。此外, 激光顯微鏡測(cè)量還保證了測(cè)量儀器的兩大指標(biāo)——“正確性”(測(cè)量值與真正值的接近程度)和“重復(fù)性”(多次測(cè)量值的偏差程度)的性能。

從大范圍拼接影像中指定目標(biāo)區(qū)域

高倍率影像容易使視場(chǎng)范圍變小,而通過設(shè)置,OLS4500的拼接功能多可以拼接625幅影像,從而能夠獲得高分辨率的大范圍視圖數(shù)據(jù)。不僅如此,還可以在該大范圍視圖上進(jìn)行3D顯示或3D測(cè)量。

主機(jī) 規(guī)格

LSM部分

光源、檢出系統(tǒng)



光源:405 nm半導(dǎo)體激光、檢出系統(tǒng):光電倍增管


總倍率



108~17,280X


變焦



光學(xué)變焦:1~8X


測(cè)量

平面測(cè)量

重復(fù)性

100x :   3σn-1=0.02μm、50x:3σn-1=0.04μm、20x:3σn-1=0.1μm




正確性

測(cè)量值的±2%以內(nèi)



高度測(cè)量

方式

物鏡轉(zhuǎn)換器上下驅(qū)動(dòng)方式




行程

10mm




內(nèi)置比例尺

0.8nm




移動(dòng)分辨率

10nm




顯示分辨率

1nm




重復(fù)性

100x   :σn-1= 0.012μm、50x:σn-1=0.012μm、20x:σn-1=0.04μm




正確性

0.2+L/100   μm以下(L=測(cè)量長度)


彩色觀察部分

光源、檢出系統(tǒng)


光源:白色LED、檢出系統(tǒng):1/1.8英寸200萬像素單片CCD



變焦


碼變焦:1~8X


物鏡轉(zhuǎn)換器



6孔電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器


微分干涉單元



微分干涉滑片:U-DICR、內(nèi)置偏振光片單元


物鏡



明視場(chǎng)平面半消色差透鏡5X LEXT專用平面復(fù)消色差透鏡20X、50X、100X


Z對(duì)焦部分行程



76 mm


XY載物臺(tái)



100 x   100 mm(電動(dòng)載物臺(tái))

SPM部分

運(yùn)行模式



接觸模式、動(dòng)態(tài)模式、相位模式、電流模式*、表面電位模式(KFM)*、磁力模式(MFM)*


位移檢出系統(tǒng)



光杠桿法


光源



659 nm半導(dǎo)體激光


檢出設(shè)備



光電檢測(cè)器


最大掃描范圍



X-Y:大 30 μm x 30 μm、Z:大 4.6 μm


安裝微懸臂



在盒式微懸臂支架上一鍵安裝。使用微懸臂安裝位置調(diào)整專用工裝夾具預(yù)對(duì)位,更換支架時(shí)無需光學(xué)調(diào)整。

系統(tǒng)

總重量



約440 kg(不包含電腦桌)


I額定輸入



100-120 V/220-240 V、600 VA、50/60   Hz


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