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產(chǎn)品中心

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納米操作機、納米機械手、納米操縱機械臂、納米操縱儀TNI LF-2000

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產(chǎn)品特點

小尺寸:小型化設(shè)計,結(jié)構(gòu)緊湊,zui小尺寸可達50x50x17mm
高精度:納米級微操作
易操作:XYZ直角坐標,支持PC/遙感操作

詳細介紹


納米操作機、納米機械手、納米操縱機械臂、納米操縱儀TNI LF-2000

產(chǎn)品簡介

TNI LF-2000是兼容SEM/FIB的自動化納米操作系統(tǒng),也是能夠在SEM/FIB下提供可重復定位、低漂移、閉環(huán)運動控制定位的納米操作系統(tǒng)。

產(chǎn)品特征

 完全兼容主流電鏡,不影響電鏡功能
· 卓越的運動定位性能:大行程、亞納米分辨率
· 位移傳感器集成自動化和可編程運動
· SEM真空環(huán)境優(yōu)化設(shè)計,可快速安裝與拆卸

規(guī)格參數(shù)

系統(tǒng)概況系統(tǒng)尺寸127x127x33mm3
機械手數(shù)量1-4
操作手(宏動)驅(qū)動原理粘滑驅(qū)動
運動范圍XY軸:10mm Z軸:5mm
最大速度>3mm/s
最小步長<100nm
操作手(微動)驅(qū)動原理無摩擦柔性鉸鏈
運動范圍XYZ軸:20μm
最大速度>45μm/s
開環(huán)運動分辨率0.5nm
閉環(huán)運動分辨率1nm
定位漂移率<0.35nm/min
軟件功能**點擊-移動鼠標在電腦屏幕上從A移動到B
自適應(yīng)放大倍數(shù)定位器移動速度根據(jù)SEM放大自動調(diào)整
操作手位置保存/加載用戶自定義的“保存/加載”操作手坐標
3D虛擬顯示實時三維顯示操作手的位置和運動
自動校準操作手閉環(huán)傳感器自動校準
運動軸的自動對準所有操作手運動軸自動對準SEM圖像軸

*系統(tǒng)尺寸可根據(jù)需要減小到50x50x17mm3

**可根據(jù)選定SEM/FIB的型號而定

應(yīng)用案例

力學測量

LifeForce為納米材料的力學特性提供
高分辨率的力和位移反饋,圖片展示的
是用球端AFM懸臂探針對單根納米線的拉
伸測試。



電學特性

LifeForce為納米材料提供可靠、低噪音
的電測量,以及與納米結(jié)構(gòu)的原位相互連接。
圖片展示的是四探針測量納米線電學性能。




拾取和放置操作

使用末端工具(例如:探針、微納米夾
持器、超聲切割針),操作者能夠操作
LifeForce納米操作手在SEM電鏡內(nèi)對微
納米物體進行推、拉和抓取等操作。



制作微納米器件

精密的操作手運動能夠?qū)崿F(xiàn)微納米器件
的快速成型和后處理。圖片展示的是納
米線FET傳感器的構(gòu)造。





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