微波等離子體化學(xué)氣相沉積（MPCVD）系統(tǒng)，微波發(fā)生器產(chǎn)生的微波用波導(dǎo)管傳輸至反應(yīng)器，并向反應(yīng)器中通入不同氣體構(gòu)成的混合氣體，高強(qiáng)度微波能激發(fā)分解基片上方的含碳?xì)怏w形成活性含碳基團(tuán)和原子態(tài)氫，并形成等離子體，從而在基片上沉積得到金剛石薄膜。

Intelligent MPCVD Dimond Growth System (IMD)系列金剛石晶體生長(zhǎng)系統(tǒng)，是實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量金剛石晶體生長(zhǎng)、高純度晶體薄膜沉積、高溫晶體熱處理的專業(yè)設(shè)備。廣泛應(yīng)用于金剛石晶體生長(zhǎng)、原料沉積、晶體熱處理領(lǐng)域。

以金剛石為代表的寬禁帶半導(dǎo)體材料在微電子、電力電子和半導(dǎo)體照明器件等領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用和廣闊的市場(chǎng)前景。同時(shí)它還以其優(yōu)異的物理和化學(xué)性能在國(guó)防、航空、航天、石油勘探、光存儲(chǔ)、傳感器窗口、顯示等領(lǐng)域有著重要應(yīng)用前景，市場(chǎng)潛力巨大。金剛石器件己從高價(jià)時(shí)代的航天、航空、雷達(dá)、核能開(kāi)發(fā)等領(lǐng)域，擴(kuò)展至石油和地?zé)徙@井勘探、變頻空調(diào)、平板電視、混合動(dòng)力汽車(chē)和電動(dòng)汽車(chē)以及太陽(yáng)能光電變換等民用領(lǐng)域。