儀器簡介：

ZLS-24D/M型氦質(zhì)譜檢漏儀（以下簡稱儀器）是成都儀器廠開發(fā)的新一代“正流原理”的真空檢漏儀：采用渦輪分子泵作主排氣機(jī)，啟動(dòng)快（僅五分鐘即可使用）。儀器可以在測試口壓強(qiáng)大約為1000Pa時(shí)，采用逆擴(kuò)散方式進(jìn)行大漏檢漏，也可以在測試口壓強(qiáng)為優(yōu)于50Pa時(shí)采用常規(guī)方式進(jìn)行檢漏；用常規(guī)方式檢漏時(shí)，可以在分流狀態(tài)下檢漏（測試口壓強(qiáng)在50～10-1Pa），也可以在不分流狀態(tài)下檢微小的漏隙（測試口壓強(qiáng)在優(yōu)于10-1Pa時(shí)）。儀器能自動(dòng)尋峰，讀數(shù)方便,有音響報(bào)警裝置。
主要技術(shù)參數(shù)：
儀器的啟動(dòng)時(shí)間：不大于5min
最小可檢漏率：優(yōu)于1×10-11Pa.m3/s(負(fù)壓法)
反應(yīng)時(shí)間：不大于3s
質(zhì)譜室允許工作的壓強(qiáng)：1×10-2Pa
測試口允許工作的壓強(qiáng)：1000Pa
檢漏接口：KF25
儀器的輪廓尺寸：640*550*980mm3
儀器的重量：約75Kg
主要配置：渦輪分子泵一臺(tái)
前級機(jī)械泵一臺(tái)
粗抽機(jī)械泵一臺(tái)
校準(zhǔn)漏孔1只（有計(jì)量校驗(yàn)證書）
質(zhì)譜分析室1套（成都儀器廠）
控制電路及電磁閥（成都儀器廠）
      工控計(jì)算機(jī)1臺(tái)
      噴槍1套（成都儀器廠）
     ZLS氦質(zhì)譜檢漏儀控制分析系統(tǒng)V1.0

儀器供電電源：220V±10%，功率約為2Kw