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HOOL L6600 通用組合水平式檢測干涉儀

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產品特點

通用組合水平式檢測干涉儀(數字化相移分析系列)是一款高性能模塊化組合激光檢測干涉儀。它依據可模塊化組合的設計理念和通過不同的組合模式,靈活地滿足不同的檢測需求。進而在結構簡單、適用于多種被測面的前提下,使用數字化相移分析方法實現高精度、多功能的檢測,從而大大降低檢測成本。此款干涉儀解決了被檢測對象的不確定與檢測系統(tǒng)相對固定之間的匹配問題,以及由此帶來的現有儀器實用性受限問題。它不僅實現了干涉測量技術的更新換代,而且填補了制造業(yè)和國家質檢部門對高精度平面檢測設備需求的空白。

通用組合水平式檢測干涉儀(數字化動態(tài)分析系列)是一種使用動態(tài)分析方法的斐索型激光干涉儀。該干涉儀具備良好的抗振性能,可以在有空氣擾動,輕微振動的環(huán)境下檢測。這使得該干涉儀在傳統(tǒng)相移技術無法進行測試的環(huán)境中,仍能提供精密可靠的計量檢測,這種具有可模塊化組合和低成本等特點的無損檢檢測干涉儀是工業(yè)加工現場檢測需求的新方向。

詳細介紹

系列一:數字化相移分析

應用領域:
1.計量檢測,光學鏡片檢測、光學組件檢測,手機背板和相機鏡頭檢測,半導體晶圓檢測,LED襯底藍寶石檢測,安防鏡頭和車載鏡頭檢測,航空航天成像系統(tǒng)檢測,超精密機械件檢測,光學成像系統(tǒng)和衍射元件檢測,納米器件和MEMS檢測,科研和高等教學儀器等眾多領域。
2.平面類(平面平晶、窗口玻璃、光學平面玻璃、金屬平面、陶瓷平面等)光滑表面面形測量、一次測量后可同時顯示多區(qū)域測量結果、光學平行度和材料均勻性的測量, 90°直角棱鏡和角錐測量;球面類(凸面、凹面、不同F數)光滑表面面形測量;柱面類(凸面、凹面、不同F數)光滑表面面形測量;非球面類(凸面、凹面)光滑表面面形測量; 光學組件和系統(tǒng)透射波前精度測量、光學系統(tǒng)的裝調和校準等。
性能參數:

型號

HOOL L6075A

HOOL L6200A

HOOL L6400A

HOOL L6600A

口徑

3/4"(19mm)

2"(50mm)

4"(100mm)

6"(150mm)

尺寸

L520*W330*H225

L680*W330*H225

L800*W350*H250

L840*W450*H280

重量

13kg

21kg

32kg

52kg


測量原理:

斐索干涉原理

光源波長:

632.8nm

樣品準直:

使用兩個光點

電源:

220V 50HZ/110V 60HZ

操作系統(tǒng):

Windows7/10,32/64bit

CCD分辨率:

1280*960像素

軟件:

H&L-p 數字化動態(tài)分析軟件

精密度:

λ/600 PV

重復性:

λ/500 PV

重復性:

λ/1000 RMS

透射平面鏡精度:

λ/20 PV

透射球面鏡精度:

λ/10 PV

系列二:數字化動態(tài)分析

應用領域:
1.工業(yè)計量檢測,光學加工車間檢測,各種工業(yè)生產及加工現場檢測包括:通訊、航空航天、汽車制造和消費電子等。
2.動態(tài)環(huán)境下,測量各種光滑表面面形,包括光學平面玻璃、窗口玻璃、金屬平面、陶瓷平面,凸凹球面等。幫助光學車間和其它工業(yè)加工現場,控制和提高各種元件的光滑表面精度和表面質量。


性能參數:

型號

HOOL LD6075A

HOOL LD6200A

HOOL LD6400A

HOOL LD6600A

口徑

3/4"(19mm)

2"(50mm)

4"(100mm)

6"(150mm)

尺寸

L520*W330*H225

L634*W330*H225

L754*W350*H250

L794*W450*H280

重量

11kg

19kg

28kg

48kg


測量原理:

斐索干涉原理

光源波長:

632.8nm

樣品準直:

使用兩個光點

電源:

220V 50HZ/110V 60HZ

操作系統(tǒng):

Windows7/10,32/64bit

CCD分辨率:

1280*960像素

軟件:

H&L-d數字化動態(tài)分析軟件

精密度:

λ/65 PV

重復性:

λ/50 PV

重復性:

λ/100 RMS

透射平面鏡精度:

λ/20 PV

透射球面鏡精度:

λ/10 PV


 


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