主要特點：

• 完全集成的 TESCAN Essence? EDS 分析平臺，可在 Essence? 軟件的同一個窗口中實現(xiàn)掃描電鏡實時成像和成分分析。

• TESCAN 獨特的無機械光闌光路設(shè)計及實時電子束追蹤技術(shù) (In-flight Beam Tracing?)，可快速獲得ZJ的成像和分析條件。

• 獨特的大視野光路（Wide Field Optics?）設(shè)計，可實現(xiàn)最小放大倍率低至2倍，因而無需額外的光學(xué)導(dǎo)航相機，即可輕松、精確的對樣品進行導(dǎo)航。

• 直觀、模塊化的 Essence? 軟件設(shè)計，不同經(jīng)驗等級的用戶均可輕松操作。

• Essence? 3D 防碰撞模型，可確保樣品臺和樣品移動時，安裝在樣品室內(nèi)探測器的安全性。

• 可選配的真空緩沖節(jié)能單元可顯著縮短機械泵的運行時間，提供一款環(huán)保、高經(jīng)濟效益的電子顯微鏡。

全新的 TESCAN Essence? 軟件

TESCAN VEGA COMPACT 采用 TESCAN Essence? 多用戶電鏡操作軟件，具有快速搜索、操作步驟撤銷/重做和預(yù)設(shè)參數(shù)等多種快速功能，實現(xiàn)更高效的樣品分析工具。軟件允許和表征。用戶可以根據(jù)實際操作水平或特殊應(yīng)用需求的不同在軟件中自定義界面布局，也可以在軟件上設(shè)定自己的專屬界面，只顯示滿足自身應(yīng)用需求的功能和圖標(biāo)。這種簡化后的布局方式可以更好的幫助接觸電鏡不久的操作人員輕松掌握掃描電鏡成像和能譜分析。

樣品臺
5軸計算機控制優(yōu)中心馬達驅(qū)動樣品臺

X 及 Y 軸移動行程: 80 (X) x 60 (Y) mm

Z 軸移動行程: 50 mm

傾斜: 計算機控制優(yōu)中心式, -80° 至 +80°

旋轉(zhuǎn): 計算機控制優(yōu)中心式, 360 ° (連續(xù))

最大樣品高度：81 mm

最大樣品尺寸: 145 (X) × 145 (Y) mm

最大樣品重量: 1000 g 

軟件：

• 測量軟件, 公差測量軟件

• 圖像處理

• 預(yù)設(shè)參數(shù)

• 直方圖及LUT

• SharkSEM? 基礎(chǔ)版 (遠程控制)

• 3D 防碰撞模型軟件

• 對象區(qū)域

• 光電聯(lián)用

• 定時關(guān)機

• CORAL?（用于生命科學(xué)的電鏡模塊）

• 自動拼圖軟件

• 樣品觀察

• TESCAN Flow? (離線處理軟件)

根據(jù)實際配置和需求

設(shè)備參數(shù)：