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OAI UV Led 光源

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產(chǎn)品特點

OAI UV Led 光源,對準(zhǔn)和均勻,適用于高要求的光刻應(yīng)用

詳細(xì)介紹

OAI  UV  Led 光源-對準(zhǔn)和均勻,適用于高要求的光刻應(yīng)用。

 

BENEFIT       好處       
Low Cost      低成本
Long Life       壽命長
Energy Efficient    高 效率能源
Low Power Usage   低功率使用
No maintenance costs or lamp changes   沒有維護費用或更換燈管
No Mercury.            沒有汞
 
OPTIONS  選項
Free standing or can be integrated into any OAI  獨立或可集成到任何OAI
lithography system  光刻系統(tǒng)
Variety of tooling modules available  可提供多種模具模塊
Height adjustable LS stand available   高度可調(diào)的LS站
Single or multiple wavelength     單波長或多波長
 
FEATURES   特性
Beam size 4” to 12” sg.  尺寸為4 "到12 " sg
Wave length 365um, 405um or dual wave length  波長365um, 405um或雙波長
Dual Wave Length Tuning available  可進行雙波長調(diào)協(xié)
Beam uniformity better than +/- 4%   光束均勻性優(yōu)于+/- 4%
Beam intensity up to ~25mW/cm2    光束強度可達(dá)~25mW/cm2
Easy to use touch screen interface     易于使用的觸摸屏界面
Collimation angle <= 2 degrees   準(zhǔn)直角< <= 2度
Dose control and timed exposure   劑量控制和定時曝光
USB remote interface for PC control   USB遠(yuǎn)程接口的PC控制
Long working   長時間的工作

 

 

 

                                                                                                      Tooling   Module

                                                                 Using UV Led Light

                                                                   Source: 0.5um

                                                                    Lines and Space
 


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