紫外臭氧清洗機(jī)原理：

通過紫外燈發(fā)出適當(dāng)強(qiáng)度的 185nm 和 254nm 波長高能紫外線破壞有物分子 ( 污染物 )。185nm 波長紫外光的光能 量能將空氣中的氧氣 (O2) 分解成臭氧 (O3)，而 254nm 波長的紫外光的光能量能將 O3 分解成 O2 和原子氧 (O)，   254 nm 紫外線同時激發(fā)表面的有機(jī)物分子，提高其敏感性，可以被臭氧分子團(tuán)破壞。在連續(xù)進(jìn)行的光敏氧化反應(yīng)中，生成的 活性原子氧 (O) 與活化了的有機(jī)物 ( 即碳?xì)浠衔?) 分子發(fā)生氧化反應(yīng)，生成揮發(fā)性氣體 ( 如 CO2，CO, H2O,NO 等 ) 逸 出材料表面，從而清除粘附在材料表面上的碳和有機(jī)污染物，達(dá)到清洗的目的。

產(chǎn)品特點(diǎn)

◆  UVO 基礎(chǔ)型系列采用可編程數(shù)字控制器，設(shè)置操作簡單方便，四鍵操作控制。UVOP、UVOT 系列采用 5 寸彩色觸摸屏 中英文互動操作界面，設(shè)置顯示計(jì)時時間及加熱溫度。

◆  自動補(bǔ)償功能，自動恒定光強(qiáng)光密度，不會因?yàn)榈蛪汗療衾匣鈴?qiáng)衰減影響清洗效果。

◆  數(shù)字倒計(jì)顯示清洗時間，1-999 分鐘之間可自行設(shè)置清洗時間。

◆  任何時間可以手動中斷處理過程。

◆  自動記錄之前清洗參數(shù)設(shè)置。

◆  樣品臺可控溫（可選），控溫范圍 RT-200℃,控溫精度 0.1℃。

◆  頂置下壓式鉸鏈開關(guān)蓋方式，操作簡單方便。

◆  上置式樣品臺設(shè)計(jì)，360 度自由放置樣品，操作方便。

◆  樣品臺高度可調(diào)，通過調(diào)節(jié)燈與樣品之間的間距，可以合理定位樣品高度和位置，并可鎖定。

◆  UV 石英低壓汞蒸汽格柵燈，燈管壽命大約為 8000 小時。

◆  高強(qiáng)度 UV 燈源，波長 185nm 和 254nm。

◆  可累計(jì)計(jì)時 UV 格柵燈使用時長，更換提示。

◆  UV 反射罩（長 X 寬）比 UV 格柵燈大 25mm。

◆  雙重安全保護(hù)，帶有安全鎖，當(dāng)清洗腔打開時，系統(tǒng)自動關(guān)掉 UV 燈，并有燈光通斷提示。

◆  帶進(jìn) & 出氣口雙氣路設(shè)計(jì)。

◆  可接入氧氣或者臭氧，增加臭氧產(chǎn)量。

◆  UVO5 可選外置臭氧中和器，UVO9、UVO13 系列可選外置或者內(nèi)置臭氧中和器，用于臭氧清除。

◆  可根據(jù)客戶要求定制鋁或石英材料真空反應(yīng)腔。

 技術(shù)參數(shù)

注： UVO 型基礎(chǔ)型樣品臺不帶加熱功能，樣品臺高度可調(diào)； UVOP 可選配樣品臺加熱功能，樣品臺高度可調(diào)； UVOT 標(biāo)配 樣品臺加熱功能，樣品臺高度可調(diào)。可選臭氧中和裝置。