Park Systems推出NX-3DM全自動(dòng)原子力顯微鏡系統(tǒng)，專為垂懸輪廓、高分辨率側(cè)壁成像和臨界角的測量而設(shè)計(jì)。借助XY軸和Z軸立掃描系統(tǒng)和傾斜式Z軸掃描器，NX-3DM成功克服精確側(cè)壁分析中的法向和喇叭形頭所帶來的挑戰(zhàn)。在True Non-Contact?模式下，XE-3DM可實(shí)現(xiàn)帶有高長寬比尖端的柔軟光刻膠的無損測量。

       納米測量的精確性和高通量需要搭配高成本效益的解決方案，才能夠從研究領(lǐng)域擴(kuò)展到實(shí)際生產(chǎn)應(yīng)用中。面對這一成本挑戰(zhàn)，Park Systems帶來了工業(yè)級的原子力顯微鏡解決方案，讓自動(dòng)化測量更快、更高效，讓探針更耐久！我們放棄了慢速又昂貴的掃描電子顯微鏡，轉(zhuǎn)而采用高效、自動(dòng)化且價(jià)格實(shí)惠的3D原子力顯微鏡，進(jìn)一步降低線上工業(yè)制造的測量成本?，F(xiàn)如今，制造商需要3D信息來表現(xiàn)溝槽輪廓和側(cè)壁變形異特征，從而準(zhǔn)確找到新設(shè)計(jì)中的缺陷。模塊化原子力顯微鏡平臺實(shí)現(xiàn)了快速的軟硬件更換，使得升級更為劃算，從而不斷優(yōu)化復(fù)雜并且苛刻的生產(chǎn)質(zhì)量控制測量。此外，我們的原子力顯微鏡探針使用壽命延長至少2倍，進(jìn)一步減少購置成本。傳統(tǒng)的原子力顯微鏡采用輕敲式掃描，這讓探針更易磨損，而我們的True Non-Contact?模式能夠有效地保護(hù)探針，延長其使用壽命。

基本技術(shù)

主要功能

創(chuàng)新的3D測量方法

側(cè)切和外伸輪廓；臨界尺寸；側(cè)壁粗糙度測量

工業(yè)界低的噪音

靜電消除系統(tǒng)確保穩(wěn)定的掃描環(huán)境

自動(dòng)測量控制，提高效率

應(yīng)用

臨界尺寸和側(cè)壁測量

A、光刻膠致密線紋的橫截面SEM圖像;B、三維AFM圖像;C、模板AFM輪廓線