儀器簡(jiǎn)介：

ETD-2000 Ⅲ 型離子濺射儀是依據(jù)二極(DC)直流濺射原理設(shè)計(jì)而成的，最簡(jiǎn)單、可靠、經(jīng)濟(jì)的鍍膜設(shè)備。他的特別之處是在一個(gè)真空室內(nèi)設(shè)計(jì)安裝了三個(gè)靶。旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，可以依次在同一樣品上涂覆三種材料。適用于實(shí)驗(yàn)室的各種復(fù)合膜樣品制備，及非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極制作。

技術(shù)參數(shù)：

配置參數(shù)如下：

- 靶（上部電極）：直徑：45mm，厚度：0.12mm
- 真空樣品室： 直徑：160mm，高：120mm
- 濺射面積： Ф45mm，三區(qū)域
- 真空指示表： 最高真空度：≤ 4X10-2 mbar
- 離子電流表： 最大電流：50mA
- 定時(shí)器： 最長(zhǎng)時(shí)間：900S
- 微型真空氣閥： 可連接φ3mm軟管
- 可通入氣體： 多種
- 最高電壓： -1600（-3000）DCV
- 機(jī)械泵： 2L/S

主要特點(diǎn)：

特點(diǎn)：

1. 配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表，用以指示、監(jiān)控儀器狀態(tài)；
2. 濺射電流調(diào)整控制器、微型真空氣閥。在工作時(shí)結(jié)合內(nèi)部自動(dòng)控制電路很容易控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及任意選擇所需要的電離氣體，獲得**鍍膜效果；
3. 特殊設(shè)計(jì)的鐘罩邊緣橡膠密封圈，可保證長(zhǎng)期使用不會(huì)出現(xiàn)影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊”現(xiàn)象；
4. 陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經(jīng)久耐用；
5. 根據(jù)電場(chǎng)中氣體電離特性，采用大容量樣品濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。