產(chǎn)品簡介

BASIXX ST20 +是一個(gè)臺(tái)式安裝、旋涂、清洗、顯影和干燥的半自動(dòng)系統(tǒng)，旨在為科學(xué)和研究用戶提供高效、安全和清潔的實(shí)驗(yàn)室系統(tǒng)。該設(shè)備具有易于使用的7 英寸彩色觸摸屏界面。該軟件包含配方管理，如編寫、編輯、保存和加載。服務(wù)區(qū)域提供手臂和轉(zhuǎn)盤以及介質(zhì)控制的設(shè)置選項(xiàng)。還匯集了軟件更新功能以及可以通過 U盤保存的日志文件和備份功能。在該旋涂系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和結(jié)構(gòu)中，非常重視速度和用戶友好性。

產(chǎn)品特色

÷ 作為桌面版本的緊湊型設(shè)計(jì)

÷ 手動(dòng)裝載/卸載

÷ 襯底最大可達(dá) ?200 mm (?8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)

÷ 軟件提供用戶友好的操作

÷ 直驅(qū)旋涂電機(jī)

÷ 全軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)且完全可編程

÷ 帶安全中斷傳感器透明蓋

÷ 外殼上有電源開關(guān) ON / OFF

÷ 可視化真空控制計(jì)

÷ 可更換并易于拆卸的工藝碗和防濺環(huán)，方便清潔。

÷ 系統(tǒng)材料可抵抗所有類型的抗蝕劑和溶劑以及各種清潔介質(zhì)。 (PP-聚丙烯)

÷ 包含 0.5 升廢液瓶

÷ 準(zhǔn)備點(diǎn)膠臂和多種其他選擇

技術(shù)數(shù)據(jù)

通用

襯底尺寸: 最大可達(dá) ?200 mm (?8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)

電機(jī)轉(zhuǎn)速: 最大 10.000 轉(zhuǎn)數(shù), 以 1 轉(zhuǎn) 步進(jìn)*

電機(jī)加速: 最大 4.000 轉(zhuǎn)/秒*

步進(jìn)時(shí)間: 1 至 999.9 秒，步長為 0.1 秒

加工碗: 由 PP 天然制成

系統(tǒng)架構(gòu): 由 PP 白色制成

*取決于卡盤設(shè)計(jì)、襯底重量和負(fù)載

(+) 點(diǎn)膠線 / 可編程輸出

3條介質(zhì)線 : 2 x 24 V / 最大 1 Amp (每條) / 觸發(fā)點(diǎn) 0.1 秒 - ∞

5條介質(zhì)線: 6 x 24 V / 最大 1 Amp (每條) / 觸發(fā)點(diǎn) 0.1 秒 - ∞

要求

電源: 230 (110) VAC / 1 相 / N / PE / 50(60) Hz

真空: -0.8 巴（-80KPa）/ -600 托爾, 管 OD ?6 mm

排氣過程: 2 x OD ?38 mm, 大約 30m3/h

氮 (可選): 4 ± 0.2 巴（400±20KPa）, PFA 管 OD ?6 mm**

CDA (可選): 8 ± 2 巴（800±200KPa, 管 OD ?8 mm**

**直徑取決于配置

尺寸 (寬X深X高) 

桌面式系統(tǒng): 450 x 510/650 x 430 mm, (17.7 x 20.1/25.6 x 16.9 inch)

高度（蓋子打開）: 760 mm (29.9 inch)