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大口徑管式真空氣氛爐

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詳細(xì)介紹

大口徑管式真空氣氛爐GSL-1100X采用高純石英管,外徑規(guī)格有6″、8″、8.5″、11″可選,并配有不銹鋼法蘭,可進(jìn)行抽真空或通入其他氣氛氣體操作,主要用于大尺寸樣品燒結(jié)的需求。1、石英管外徑為6″、8″、8.5″、11″
2、采用PID控制器,可以設(shè)置51段控溫程序。
3、控溫精度高,保溫效果好,溫度范圍大,爐膛溫度均勻性高,可通氣氛抽真空。
4、安全可靠,操作簡單。

產(chǎn)品型號(hào)

大口徑管式真空氣氛爐GSL-1100X

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、電:AC380V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:如作為CVD系統(tǒng)使用,需自備氣源(標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭,可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭)

4、工作臺(tái):尺寸1600mm×600mm×700mm,承重300kg以上

5、通風(fēng)裝置:需要

技術(shù)參數(shù)

1、電源:AC380V 50Hz/60Hz 5KW

2、石英管:?152mm×1000mm,?203mm×1000mm,?216mm×1000mm,?280mm×1000mm

3、加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁

4、加熱區(qū)域:900mm

5、溫區(qū):3個(gè),各300mm長

6、ZG溫度:1100℃

7、工作溫度:1000℃

8、ZD升溫速率:20℃/min

9、推薦升溫速率:10℃/min

10、控溫精度:±1℃

11、控溫段數(shù):51段

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:1300mm×650mm×1050mm;重量:150kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

石英管

1根

2

管堵

4個(gè)

3

坩堝鉗

1把

4

熱電偶

1根

5

真空法蘭

1套

6

高溫手套

1雙

可選配件

1、石英管

2、氧化鋁坩堝

3、石英坩堝

4、真空泵

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