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立式氣氛管式爐

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立式氣氛管式爐 核心參數(shù)
穩(wěn)定性 控溫精度:±1 最高溫度 1200℃

產(chǎn)品特點

設備用途:該設備主要用于晶圓材料鍍膜、退火等領域

詳細介紹

圖片3.png設備名稱:立式氣氛管式爐                                                      

設備用途:該設備主要用于晶圓材料鍍膜、退火等領域;

、主要結構、功能

管式爐主要由不銹鋼水冷密封法蘭、加熱爐溫區(qū)、物料托架、手動升降裝置、以及電控部分組成。具體見上圖所示:

1.物料放置

4 支不銹鋼管支撐物料,通過攪動手動升降手柄,將物料升至爐膛內(nèi)部,再通過卡箍將托架與下部法蘭進行密封;底部法蘭裝置石英進氣導管,可將氣體直接通入物料下方;

2.加熱溫區(qū)

加熱溫區(qū)總成 200mm,恒溫區(qū)長度約 100mm,爐膛材料采用高純聚晶氧化鋁纖維制成,保溫性能好。  

序號

報價設備技術指標

1

爐體尺寸

約500*1360*760mm(以實際為準)

2

爐管尺寸

Φ120mm*500mm(內(nèi)徑114mm)

3

工作溫度

≤1150℃

4

溫區(qū)長度

200mm(恒溫區(qū)100mm)

5

升溫速率

建議10/min

6

加熱元件

摻鉬的鐵鉻鋁合金加熱絲

7

爐膛材料

輕質氧化鋁纖維保溫耐火材料

8

控溫精度

±1℃

9

極限溫度

1200℃

10

加熱溫區(qū)

單溫區(qū)

11

操控模式

7"真彩觸摸屏操控,智能模糊 PID 控制

12

溫度曲線設置

可預存15條溫度曲線,每條曲線可設置30段"

時間—溫度曲線";

13

溫度曲線記錄

實時監(jiān)控,動態(tài)真實顯示“時間-溫度曲線”

14

測溫元件

K 型熱電偶

15

保護設置

超溫報警,過流保護,斷偶提示

16

電氣認證

CE 認證

17

電氣規(guī)格

AC220V 50Hz 2KW

18

放料裝置

手動升降托架

19

 

隨機產(chǎn)品配置

爐管1根;不銹鋼水冷法蘭1套;密封圈1套;隨機工具;說明書1份等。

20

服務項目

免:運輸費,保險費,包裝費; 提供 12 個月質保,終身保修


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