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瑞奇精密 RQC-2S 全自動(dòng)磁控離子濺射儀

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RQC-2S全自動(dòng)磁控離子濺射儀

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截屏2023-08-11 下午3.16.06.png

低氣壓下氣體的輝光放電現(xiàn)象:
  • ?  靶材后有永磁鐵

  • ?  靶材上施加電壓為-400 ~ -600V,樣品臺(tái)接地

  • ?  絕大部分電子和負(fù)離子在電場(chǎng)和磁場(chǎng)的共同作用下,做螺旋線運(yùn)動(dòng),

     單個(gè)電子電離的氣體分子大大多于直流,因此,在較好的真空、較  低的電壓下即可獲得較大的電流;

  • ?  在磁場(chǎng)在作用下,絕大部分電子和部分負(fù)離子落在靶材附近,無法 到達(dá)樣品臺(tái),對(duì)樣品基本沒有熱損傷


工作特點(diǎn):  濺射電流與壓力無關(guān)、基本沒有熱損傷

應(yīng)用領(lǐng)域:  適用于所有樣品,尤其是溫度敏感性樣品、如生物、聚合物等樣品      

                   工作時(shí)真空度好,鍍膜的顆粒度更小,更適用場(chǎng)發(fā)射等高分辨觀測(cè)  電極制備

截屏2023-08-18 上午10.04.12.png

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