***納米測量工具助推缺陷分析和大型樣品研究

?

作為一位缺陷分析工程師，你的任務(wù)是提供結(jié)果。而你的儀器所提供的數(shù)據(jù)不能允許任何錯(cuò)誤的存在。Park NX20，這架***最精密的大型樣品原子力顯微鏡，憑借著***數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性，在半導(dǎo)體和硬盤行業(yè)中大受贊揚(yáng)。

?

更為強(qiáng)大的缺陷分析解決方案

Park NX20具備的功能，可輕易找出儀器缺陷的原因并幫助制定更多創(chuàng)意的解決方案。***的精密度為你帶來高分辨率數(shù)據(jù)，讓你能夠更加專注于工作。與此同時(shí)，True Non-Contact?(真正非接觸)掃描模式讓探針***更鋒利、更耐久，無需為頻繁更換而耗費(fèi)大量的時(shí)間和金錢。

?

操作簡單，入門級工程師的福音

Park NX20擁有***最為友好的設(shè)計(jì)和自動(dòng)界面，讓你在使用時(shí)無需花費(fèi)大量的時(shí)間和精力，也無需為此時(shí)時(shí)監(jiān)督初級工程師。借助這一系列特點(diǎn)，您可以更為專注于解決更為重大的問題并為客戶提供及時(shí)且富有洞察力的失效分析。

?

技術(shù)信息

三維結(jié)構(gòu)研究的側(cè)壁測量

NX20的創(chuàng)新構(gòu)造讓您可以檢測樣品的側(cè)壁和表面，并測量角度。眾多的功能和用途正是您的創(chuàng)新性研究和深刻洞察力所需的。

?

表面粗糙度測量?- 媒介和基體

表面粗糙度測量是Park NX20的關(guān)鍵應(yīng)用之一，能夠帶來***的缺陷分析和***。

?

高分辨率電性掃描模式

最快的掃描式電容顯微鏡

無橫向摩擦導(dǎo)電原子力顯微鏡

?

True Sample Topography?(真正樣品掃描），讓壓電蠕變無影蹤

?我們的原子力顯微鏡配有最***低噪聲Z軸探測器，寬噪音帶寬僅有0.02 nm。這能夠帶來超***樣品形貌，不受沿過沖影響，且無需校準(zhǔn)。這僅僅是Park原子力顯微鏡為您節(jié)省時(shí)間和帶來更好數(shù)據(jù)的方式之一。

技術(shù)特點(diǎn)

二維柔性導(dǎo)引掃描器，超大的100 μm x 100 μm掃描范圍

XY軸掃描器含有對稱的二維柔性和高強(qiáng)度壓電疊堆，可在保持平面外運(yùn)動(dòng)最少的情況下，實(shí)現(xiàn)高正交運(yùn)動(dòng)以及納米級樣品掃描下的高響應(yīng)度。

??

低噪聲位置傳感器

***的低噪聲Z軸探測器替代Z電壓，作為樣貌信號。此外，低噪聲XY閉環(huán)掃描可將正向掃描和反向掃描間隙降至掃描范圍的0.15%以下。

?

步進(jìn)掃描自動(dòng)化

借助電動(dòng)樣品臺(tái)，步進(jìn)掃描模式能夠允許用戶自行編程多區(qū)域成像。在重復(fù)成像過程中，該自動(dòng)化功能可減少用戶的工作，從而提高生產(chǎn)力。

??

滑動(dòng)連接超輻射發(fā)光二極管(SLD)鏡頭自動(dòng)裝卸

燕尾式軌道設(shè)計(jì)，輕松更換原子力顯微鏡鏡頭。該設(shè)計(jì)可將鏡頭自動(dòng)鎖定至預(yù)對準(zhǔn)的位置，并將其連接至控制電子元件，而重復(fù)定位精度只有幾微米。借助超輻射發(fā)光二極管(SLD)的低相干性，顯微鏡可***成像高度反光表面和精密測量pico-Newton力對距光譜。此外，超輻射發(fā)光二極管的波長也解決了干擾問題，讓用戶可隨意在可見光譜實(shí)驗(yàn)中使用原子力顯微鏡。

?

高級掃描探針顯微鏡模式和選項(xiàng)擴(kuò)展槽

只需要將可選模塊插入擴(kuò)展槽，您便可激活高級高級掃描探針顯微鏡模式。得益于NX系列原子力顯微鏡的模塊化設(shè)計(jì)，其產(chǎn)品線產(chǎn)品的兼容性大大提高。

?

高速24位數(shù)字電子控制器

所有NX系列的原子力顯微鏡都是由相同的NX電子控制器進(jìn)行控制和處理。該控制器為一個(gè)全數(shù)字、24位高速電子單元，能夠確保Park True Non-ContactTM模式下的成像精度和速度。憑借著低噪聲設(shè)計(jì)和高速處理單元，該控制器是納米級成像和***電壓電流測量的***選擇。嵌入式數(shù)字信號處理為原子力顯微鏡帶來更為豐富的功能，進(jìn)一步提升性價(jià)比，是高級研究員的選擇。

?

?XY和Z軸探測器的24位信號解決方案

·XY軸(50 μm)的分辨率為0.003 nm

·Z軸(15 μm)的分辨率為0.001 nm

?

嵌入式數(shù)字信號處理功能

·三通道靈活數(shù)字鎖相·彈簧常數(shù)校正（熱測法）

·數(shù)字Q控制

?

集成式信號端口

·專用可編程信號輸入/輸出端口

·7個(gè)輸入端口和3個(gè)輸出端口

?

高速Z軸掃描器，掃描范圍達(dá)15 μm

借助高強(qiáng)度壓電疊堆和柔性結(jié)構(gòu)，標(biāo)準(zhǔn)Z軸掃描器的共振頻***達(dá)9 kHz以上（一般為10.5 kHz）且探針的Z軸移動(dòng)速率不低于48 mm/秒，讓信息反饋更為準(zhǔn)確。Z軸掃描范圍可從標(biāo)準(zhǔn)的15 μm擴(kuò)展至40μm（可選購的遠(yuǎn)距離Z軸掃描器）。

?

電動(dòng)XY軸樣品臺(tái)，可選配編碼器

在電動(dòng)樣品臺(tái)上加裝編碼器，可***更高的重復(fù)定位精度，讓樣品定位更為準(zhǔn)確。在配備編碼器后，XY軸樣品臺(tái)的行程精度低至1 μm且重復(fù)定位精度低至2 μm，而Z軸樣品臺(tái)的行程精度和重復(fù)定位精度分別為0.1 μm和1 μm。

?

可更換式樣品架

借助獨(dú)特的鏡頭設(shè)計(jì)，用戶可從側(cè)面操作樣品和探針。根據(jù)XY軸樣品臺(tái)所設(shè)定的行程范圍，用戶在樣品臺(tái)上可防止的樣品體積為直徑150 mm x 20 mm或直徑200 mm x 20 mm。

?

直視同軸高倍顯微鏡，集成LED照明

定制物鏡配有超長工作距離（51 mm，0.21的數(shù)值孔徑，1.0 μm的分辨率），帶來***的鏡頭清晰度。直視同軸設(shè)計(jì)讓用戶可輕易地在樣品表面找尋目標(biāo)區(qū)域。為了達(dá)到更高的分辨率，我們采用了EL20x長行程物鏡，且工作距離為20 mm，數(shù)值孔徑為0.42，分辨率為0.7 μm。得益于CCD的大體積傳感器，樣品視角更寬，但分辨率卻不受影響。由軟件控制的LED光源能為樣品表面提供足夠的照明，以便清晰觀察樣品。

?

垂直配向的電動(dòng)Z軸樣品臺(tái)和聚焦樣品臺(tái)

?Z軸樣品臺(tái)和聚焦樣品臺(tái)與懸臂連接，得以操控樣品表面，且同時(shí)能夠***用戶有著清晰的視野。此外，得益于聚焦樣品臺(tái)為電動(dòng)且可軟件控制，因此精密度可適用于透明樣品和液體單元應(yīng)用。

?