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原子力顯微鏡PZ-1000 AFM

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詳細介紹

原子力顯微鏡PZ-1000 AFM采用掃描探頭和樣品臺集成一體的光機電一體化設計。高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器可根據不同精度和掃描范圍要求選擇,彈簧懸掛式防震方式的結構簡單實用,抗干擾能力強。
一、主要功能特點 
硬件系統(tǒng) 
1、主機與控制箱分開,外形結構簡單;
2、掃描探頭和樣品臺集成一體,抗干擾能力強;
3、精密激光定位裝置,使用時無需調節(jié)光斑位置;
4、采用精密探針定位模塊,更換探針簡單方便;
5、采用樣品趨近探針方式,使針尖垂直于樣品掃描;
6、伺服馬達手動或自動脈沖控制,驅動樣品垂直接近探針,實現(xiàn)掃描區(qū)域精確定位;
7、高精度大范圍的樣品移動裝置,可自由移動感興趣的樣品掃描區(qū)域;
8、高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器,根據不同精度和掃描范圍要求選擇;
9、高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器,根據不同精度和掃描范圍要求選擇;
10、模塊化的電子控制系統(tǒng)設計,便于電路的持續(xù)改進與維護;
11、集成多種掃描工作模式控制電路,配合軟件系統(tǒng)使用;
12、彈簧懸掛式防震方式,簡單實用,抗干擾能力強。
軟件系統(tǒng) 
1、可自由選擇圖像采樣點為256×256或512×512;
2、多通道圖像同步采集顯示,實時查看剖面圖;
3、可進行掃描區(qū)域偏移、剪切功能,任意選擇感興趣的樣品區(qū)域;
4、可任意選擇樣品起始掃描角度;
5、激光光斑檢測系統(tǒng)的實時調整功能;
6、可任意定義掃描圖像的色板功能;
7、支持樣品傾斜線平均、偏置實時校正功能;
8、支持掃描器靈敏度校正和電子學控制器自動校正;
9、支持樣品圖片離線分析與處理功能。

序號名  稱參  數
01工作模式

接觸、摩擦力(可選配輕敲、相位、磁力、靜電力)

02樣品尺寸Φ≤90mm;H≤20mm
03最大掃描范圍橫向20um,縱向2um
04掃描分辨率橫向0.2nm,縱向0.05nm
05掃描速率0.6Hz~4.34Hz
06掃描控制XY采用18-bit D/A,Z采用16-bit D/A
07數據采樣14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣
08掃描角度任意
09樣品移動范圍0~20mm
10馬達趨近脈沖寬度10±2ms
11光學放大倍數4X
12

光學分辨率

2.5um
13圖像采樣點256×256,512×512
14反饋方式DSP數字反饋
15反饋采樣速率64.0KHz
16計算機接口USB2.0
17運行環(huán)境運行于Windows98/2000/XP/7/8操作系統(tǒng)


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