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HP1000V-MPS 真空高溫探針臺
- 品牌：美國INSTEC
- 產(chǎn)地：美洲 美國
- 供應(yīng)商報價：￥100000
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北京儀光科技有限公司
更新時間：2025-05-08 11:41:12 -
銷售范圍售全國
入駐年限第4年
營業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產(chǎn)品探針臺(11件)
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產(chǎn)品特點
- HP1000V-MPS Instec的真空高溫探針臺系列是可從外部移動 探針進行點針的桌上型探針臺，涵蓋多型號、多溫度范圍。
詳細介紹
- 產(chǎn)品簡介HP1000V-MPS Instec的真空高溫探針臺系列是可從外部移動 探針進行點針的桌上型探針臺，涵蓋多型號、多溫度范圍。同時允許溫控、探針電測試、光學(xué)觀察和樣品氣體環(huán)境控制。探針臺上蓋與底殼構(gòu)成一個可抽真空的密封腔，亦可內(nèi)充入氮氣等保護 氣體，來防止樣品在負溫下結(jié)霜，或高溫下氧化。功能特點mimi 型溫控探針臺，可集成到各種光學(xué)設(shè)備可編程控溫，涵蓋 RT~1000℃適用 10 mm ~25 mm 晶圓和器件可抽真空的腔體，亦可充入保護氣體使用獨立的四個探針，可從設(shè)備外部移動探針進行點針可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件 SDK模塊化設(shè)計，可自由組合*可升級為 8 個獨立探針*SMA 接頭轉(zhuǎn) BNC 四探針，手動點針 *可選三同軸接口，用于 pA 級測試*可做定制或改動，詳詢上海恒商溫控參數(shù)溫度范圍 30℃~1000℃加熱塊材質(zhì) 陶瓷傳感器/溫控方式 S / PID 控制（含 LVDC 降噪電源）最大升溫速率 50℃/min最小溫控速度 ±0.1℃/min溫度分辨率 0.1℃溫度穩(wěn)定性 ±0.5℃軟件功能 可設(shè)溫控速率，可設(shè)溫控程序，可記錄溫控曲線電學(xué)參數(shù)探針 默認為錸鎢材質(zhì)的彎針探針探針座 可從外部 XYZ 移動的探針臂點針 從外部移動點針，每個探針座都可點到樣品區(qū)上任意位置探針接口 默認為 SMA 接頭轉(zhuǎn) BNC *可增設(shè)腔內(nèi)接線柱（樣品接電引線）樣 品 臺 面 電 位 默認為電接地，可選電懸空（作背電極），可選 三同軸接口光學(xué)參數(shù)適用光路 反射光路窗片 可拆卸與更替的窗片最小物鏡工作距離 8/12 mm （可選） *截面圖中 WD上蓋窗片觀察 窗片范圍φ45mm，最大視角±58° *截面 圖中θ1負溫下窗片除霜 吹氣除霜管路結(jié)構(gòu)參數(shù)適用樣品 25 mm*25mm樣品腔高 4/8 mm （可選）探針座 可從外部 XYZ 移動的探針臂 粗調(diào)模式+微調(diào)模式，XY 粗調(diào) 20mm XY 微調(diào)行程 10mm,Z 微調(diào) 3mm調(diào)節(jié)精度 10um氣氛控制 真空腔，也可充入保護氣體外殼冷卻 可通循環(huán)水，以維持外殼溫度在常溫附近臺體尺寸/重量 300 mm x 300 mm x 40 mm / 5kg配置列表基本配置 真空型臺式探針臺、mK2000B 溫控器可選配件 安裝支架、液氮制冷系統(tǒng)、外殼循環(huán)水冷系統(tǒng)、顯 微鏡頭、防震桌、真空系統(tǒng)、測試源表、三同軸 BNC、 臺面電懸空、樣品接電引線
滬公網(wǎng)安備 31011502008050號