這款紫外曝光機(jī)非常適合對(duì)紫外光敏感層的處理，是理想的紫外掩曝光機(jī)系統(tǒng)。

應(yīng)用：紫外曝光機(jī)適合光學(xué)，生物，微納科技，光刻等領(lǐng)域需要1-2掩膜的應(yīng)用。

紫外掩曝光機(jī)特點(diǎn)

1)wan美的單色曝光，曝光帶寬小于10nm;

2)冷紫外曝光，襯底環(huán)境溫度實(shí)時(shí)控制，從而實(shí)現(xiàn)均勻曝光，消除熱效應(yīng)；

3）的功率密度

4） 紫外LED壽命更長(zhǎng)，高達(dá)10000小時(shí)；

5）方便用戶使用的觸摸屏配置；

6） 不需要預(yù)熱；

7）計(jì)算機(jī)控制紫外光源強(qiáng)度調(diào)節(jié)；

8）自動(dòng)晶圓裝載和卸載功能；

9）超低能耗；

紫外掩曝光機(jī)參數(shù)

分辨率：2微米

發(fā)射光譜：365+/-5nm, 385+/-5nm
4英寸晶圓照明： 25mW/cm^2 +/-10%

暴曬時(shí)晶圓溫度加熱:<1攝氏度
暴曬循環(huán)：1秒~18小時(shí)
記憶的曝光循環(huán)數(shù)： 10個(gè)

功率：180W

重量：8.2kg

尺寸: 260x260x260mm^2
電源： 110V/230v50Hz