產(chǎn)品參數(shù)

• 伺服電機(jī)控制

• 支持wafer尺寸：碎片至200mm（8寸圓晶）

• 轉(zhuǎn)速可調(diào)精度：1rpm；轉(zhuǎn)速jing準(zhǔn)度：小于±1rpm

• 旋轉(zhuǎn)加速度：0-50000rpm/sec（空載）

• 工藝時(shí)間設(shè)定：0-3000sec/step，時(shí)間精度：0.1sec

• 旋涂作業(yè)均勻性：小于±3%在6英寸范圍內(nèi)

• 單步旋涂及多步旋涂可選，內(nèi)置100組可編輯勻膠程序

• 帶四只自動(dòng)點(diǎn)膠端口，可升級(jí)自動(dòng)點(diǎn)膠裝置

• 產(chǎn)品可定制，提高轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性，增加電子水平顯示功能

【優(yōu)勢(shì)一】伺服電機(jī)，功能強(qiáng)大

• 高精度伺服控制系統(tǒng)，轉(zhuǎn)速jing準(zhǔn)至1rpm

• 點(diǎn)內(nèi)置100組可編輯勻膠程序，提高工藝重復(fù)性

• 真空負(fù)壓可調(diào)，減少薄片變形，不易破碎

• 全新套盤(pán)更換設(shè)計(jì)，更方便，更可靠

【優(yōu)勢(shì)二】全新設(shè)計(jì)，旋涂更為均勻穩(wěn)定

• PP外殼設(shè)計(jì)，HDPE超高分子材料內(nèi)腔

• 大尺寸套盤(pán)式載物盤(pán)，旋轉(zhuǎn)更穩(wěn)定

• 內(nèi)腔深度增加45%，減少腔內(nèi)氣流干擾

• 增設(shè)獨(dú)立下抽風(fēng)口，便于控制腔內(nèi)氣流

【優(yōu)勢(shì)三】人性化操作，使用靈活，安全可靠

• 7寸觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作

• 數(shù)顯壓力表實(shí)時(shí)顯示負(fù)壓，反應(yīng)靈敏，防止飛片

• 防進(jìn)膠設(shè)計(jì)，避免光刻膠等污染物進(jìn)入設(shè)備內(nèi)部

• 互鎖感應(yīng)傳感器，確保蓋子安全閉合

• 加強(qiáng)式開(kāi)合蓋采用嵌扣設(shè)計(jì)，更牢靠，更安全