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產(chǎn)品中心

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hexaCUBE納米精度六軸位移臺(tái)

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產(chǎn)品特點(diǎn)

hexaCUBE位移臺(tái)是德國(guó)attocube公司生產(chǎn)的能夠提供六個(gè)維度高精度移動(dòng)樣品的集成位移系統(tǒng)。產(chǎn)品在保證優(yōu)異位移精確度與穩(wěn)定性的同時(shí)真正實(shí)現(xiàn)樣品六個(gè)維度的自由移動(dòng),適用于大氣,高真空到超高真空環(huán)境,行程可達(dá)15mm。zui小步50nm,zui小傾角變化1μrad。產(chǎn)品十分適合為需要多維度高精度定位的實(shí)驗(yàn)提供幫助。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)

+六維度自由移動(dòng)

厘米級(jí)行程,納米級(jí)精度的位置控制

閉環(huán)位移器,極高機(jī)械穩(wěn)定性

+ 50 nm 線性移動(dòng)精度,1 μrad 傾角精度

+ 特殊材質(zhì),兼容各種光學(xué)環(huán)境與超高真空環(huán)境

+ 軟件全自動(dòng)操控

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)
hexaCUBE190
適用環(huán)境
1atm/HV/UHV
位移器尺寸

190×180×105 mm3

大負(fù)載
700 g
中心孔距
26 mm
行程
線性x方向 ±15 mm  
線性y方向 ±15 mm  
線性z方向 ±20 mm
傾角x方向  +33/-19°
傾角y方向 ±21°  
傾角z方向 ±19°
精度
線性x,y,z方向 50nm
傾角x,y,z方向 1μrad
材質(zhì)鋁,不銹鋼,塑料
高穩(wěn)定性
 行程1mm范圍,高度可重復(fù)性
 
 行程1mm范圍,誤差小于50nm
 
 小范圍內(nèi),誤差小于10nm
標(biāo)準(zhǔn)配件
 
 
 
ECC100位移控制器SpaceNavigator操縱桿
同時(shí)控制六個(gè)方向位移;
wan美結(jié)合attocube專門開發(fā)的hexaCUBE控制軟件;
兼容Labview;
簡(jiǎn)單易用
應(yīng)用軟件
 
       
      =>界面直觀
  =>六維度點(diǎn)對(duì)點(diǎn)控制
 
  =>布局合理
 
  =>精確控制               


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