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OAI 5000E 光刻機(jī)

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OAI 5000E型大面積掩光刻機(jī)是一種先進(jìn)的高性能,全自動(dòng)掩模對(duì)準(zhǔn)器和曝光工具,可為大型平板應(yīng)用提供超精密,ding級(jí),亞微米對(duì)準(zhǔn)和分辨率。 其靈活的設(shè)計(jì)允許在各種基材(圓形或方形)上印刷高達(dá)300mm或20“×20”。 曝光系統(tǒng)兼容近,中,或深紫外范圍的光刻膠,并具有計(jì)算機(jī)控制的LED顯微鏡照明,在不太理想的觀察環(huán)境中觀察。

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