Theta Probe平行角分辨XPS微探針

Thermo Scientific Theta Probe是一款小光斑X射線(xiàn)光電子能譜儀，無(wú)需樣品傾斜即可進(jìn)行角分辨譜收集，具備非破壞性超薄膜表征功能。
新興技術(shù)依賴(lài)于固體表面次表面區(qū)域的工程改性。這些技術(shù)包括生物醫(yī)學(xué)設(shè)備，表面改性聚合物以及應(yīng)用于先進(jìn)半導(dǎo)體器件的材料。對(duì)于這種類(lèi)型的材料，確切了解表面幾個(gè)納米尺度內(nèi)的組成至關(guān)重要。Theta Probe是一款通過(guò)平行角分辨XPS（PARXPS）測(cè)試的獨(dú)特XPS。Avantage數(shù)據(jù)系統(tǒng)內(nèi)的先進(jìn)軟件處理所有ARXPS數(shù)據(jù)，并生成準(zhǔn)確的分析結(jié)果。

XPS是眾多材料特性表征技術(shù)中行之有效的測(cè)試手段，目前已成為從生物材料到半導(dǎo)體材料等許多技術(shù)領(lǐng)域先進(jìn)材料開(kāi)發(fā)的重要工具。Theta Probe的角分辨特征使其成為表征材料表面數(shù)納米組成的理想分析手段。這些包括自組裝單層膜，表面改性聚合物以及半導(dǎo)體器件。

主要特征

高性能X射線(xiàn)光電子能譜儀

ThetaZG技術(shù)提供了平行收集超過(guò)60°角范圍角分辨X射線(xiàn)光電子能譜的獨(dú)特能力，無(wú)需樣品進(jìn)行傾斜，允許儀器對(duì)超薄膜樣品進(jìn)行非破壞性表征。
X射線(xiàn)單色器用戶(hù)可選光斑大小范圍15μm至400μm
平行角分辨X射線(xiàn)光電子能譜（PARXPS）分析無(wú)需傾斜樣品
具備安裝大樣品或多外樣品
基于Windows的Avantage數(shù)據(jù)系統(tǒng)控制
CCD樣品校準(zhǔn)顯微鏡垂直于樣品表面

透鏡、能量分析器和檢測(cè)器
光電子通過(guò)電磁透鏡大角度（60°）收集
如此大的接收角使靈敏度最大化，允許在PARXPS測(cè)試時(shí)大角度范圍收集光電子
透鏡軸線(xiàn)與一般樣品成50°角，因此光電子在超過(guò)20°至80°角范圍（相對(duì)于一般樣品）內(nèi)被收集
180°半球能量分析器輸出面配置二維檢測(cè)器
二維檢測(cè)器提供了多通道檢測(cè)手段，擁有多達(dá)112個(gè)能量通道和多達(dá)96個(gè)角通道
Theta Probe中的透鏡功能獨(dú)特，因?yàn)樗梢栽趦煞N模式操作：
普通模式，在沒(méi)有角分辨測(cè)試需求時(shí)收集光譜
角分辨模式

X射線(xiàn)光源
所有Theta Probe儀器均配置微聚集單色器。
用戶(hù)可以通過(guò)選擇15μm至400μm范圍內(nèi)的光斑大小來(lái)定義分析區(qū)域面積。

深度剖析
數(shù)字化控制的EX05離子槍是可用于提供優(yōu)異的深度剖析測(cè)試，即便使用低能離子
樣品多方位旋轉(zhuǎn)可用于的深度剖析測(cè)試。

樣品安裝

所有Theta Probe儀器均配置電機(jī)驅(qū)動(dòng)五軸樣品臺(tái)。
樣品臺(tái)可安裝大樣品移動(dòng)范圍X軸和Y軸70mm，Z軸（高度）25 mm。

真空系統(tǒng)

分析室使用5毫米厚鉬合金材料制造，最大限度地提高磁屏蔽效率，而不是使用效率較低的內(nèi)部或外部屏蔽。

樣品制備
如需要，儀器可以配置系列制備室之一。

Thermo Scientific表面分析儀器和部件由Avantage數(shù)據(jù)系統(tǒng)控制：

軟件集成了測(cè)試分析的所有方面，包括儀器控制、數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)處理和報(bào)告生成基于Windows的軟件包，可以通過(guò)網(wǎng)絡(luò)遠(yuǎn)程控制，輕易實(shí)現(xiàn)與第三方軟件如微軟Word軟件兼容負(fù)責(zé)從樣品分析到報(bào)告生成整個(gè)測(cè)試分析過(guò)程 。

產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域

氧化石墨烯的物理化學(xué)變化測(cè)控、半導(dǎo)體晶片上的超薄薄膜結(jié)構(gòu)分析、分層太陽(yáng)能電池、觸摸屏復(fù)合涂層的檢測(cè)評(píng)估、等離子表面改性、鋼鐵表面鈍化工藝評(píng)估、BN玻璃、MEA燃料電池、耐磨鍍層石油催化劑成像、食品安全聚合物包裝材料、MAGCIS深度剖析單一頭發(fā)纖維。