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頂部籽晶法晶體生長爐

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詳細(xì)介紹

VBF-1200X-TSSG頂部籽晶法晶體生長爐,可利用助溶劑法生長各種材料單晶。配備精密旋轉(zhuǎn)提拉機(jī)構(gòu)可用于頂部籽晶助溶劑法生長各種晶體材料,提拉和旋轉(zhuǎn)速度采用PLC觸摸屏控制,操作簡便。箱式爐采用氧化鋁纖維作為爐膛材料,以電阻絲為加熱元件,其腔體尺寸為φ240mm×200mm(H),ZG溫度可達(dá)1200℃。采用歐陸儀表進(jìn)行控溫,可根據(jù)不同的客戶需求來設(shè)定升降溫程序(ZG24段),控溫精度可達(dá)±0.1℃。1、由1200℃井式箱式爐與精密旋轉(zhuǎn)提拉機(jī)構(gòu)兩部分組成,可用于TSSG法生長各種材料單晶
2、ZG溫度可達(dá)1200℃
3、提拉和旋轉(zhuǎn)速度采用PLC觸摸屏控制,操作簡便
4、爐體可移動,裝樣方便
5、箱式爐采用雙層殼體結(jié)構(gòu),使得表面溫度<60℃

產(chǎn)品名稱

VBF-1200X-TSSG頂部籽晶法晶體生長爐

技術(shù)參數(shù)

1、工作電源

AC220 50/60Hz

功率:4KW

2、爐體結(jié)構(gòu)參數(shù)

加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲

爐膛材料:氧化鋁多晶纖維

內(nèi)部加熱區(qū)尺寸:φ240mm×200mm(H)

3、工作溫度

ZG工作溫度:1200℃(<1h)

連續(xù)使用溫度:1100℃

4、控溫方式

采用歐陸儀表進(jìn)行控溫,控溫精度:±0.1℃

智能化24段可編程控制 ,可設(shè)置24段升降溫程序

升溫速率:0-10℃/min(建議≤5℃)

5、籽晶提拉旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)

PLC觸摸屏控制,操作方便

步進(jìn)電機(jī)控制

籽晶ZD直徑:30mm

提拉行程:250mm

提拉速度:0.1-50mm/h

旋轉(zhuǎn)速度:0.1-23r/min

快速升降速度:50mm/min

產(chǎn)品規(guī)格

產(chǎn)品尺寸:650mm L*540mmW*1950mm H


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