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瑞士NanoFrazor 3D納米結(jié)構(gòu)高速直寫機

品牌：瑞士Swisslitho AG
型號： NanoFrazor 3D
產(chǎn)地：歐洲瑞士
供應(yīng)商報價：面議

深圳市藍星宇電子科技有限公司更新時間：2025-05-08 08:57:43

銷售范圍售全國

入駐年限第7年

營業(yè)執(zhí)照已審核

同類產(chǎn)品瑞士 Nano Frazor(1件)

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瑞士NanoFrazor 3D納米結(jié)構(gòu)高速直寫機

產(chǎn)品特點

■ 3D納米直寫能力
高直寫精度 (XY: 10nm, Z: 1nm)
高速直寫 20 mm/s 與EBL媲美
■ 無需顯影，實時觀察直寫效果
形貌感知靈敏度0.1nm
樣品無需標記識別，多結(jié)構(gòu)套刻，對準精度 5nm
■ 無臨近效應(yīng)
高分辨，高密度納米結(jié)構(gòu)
■ 無電子/離子損傷
高性能二維材料器件
■ 區(qū)域熱加工和化學反應(yīng)
多元化納米結(jié)構(gòu)改性
■ 大樣品臺
100mm X 100mm

詳細介紹

NanoFrazor 3D納米結(jié)構(gòu)高速直寫機

源自IBMzui新研發(fā)成果

    NanoFrazor納米3D結(jié)構(gòu)直寫機的問世，源于發(fā)明STM和AFM的IBM蘇黎世研發(fā)中心，是其在納米加工技術(shù)的zui新研究成果。NanoFrazor納米3D結(jié)構(gòu)直寫機第一次將納米尺度下的3D結(jié)構(gòu)直寫工藝快速化、穩(wěn)定化。

    NanoFrazor采用直徑為5nm的探針，通過靜電力精確控制實現(xiàn)直寫3D高精度直寫，并通過懸臂一側(cè)的熱傳感器實現(xiàn)實時的形貌探測。相對于其他制備技術(shù)如電子束曝光/光刻技術(shù)(EBL), 聚焦離子束刻蝕(FIB)有以下特點：
   ■   3D納米直寫能力
         高直寫精度 (XY: 10nm, Z: 1nm)
         高速直寫 20 mm/s 與EBL媲美
   ■   無需顯影，實時觀察直寫效果
         形貌感知靈敏度0.1nm
         樣品無需標記識別，多結(jié)構(gòu)套刻，對準精度 5nm
   ■   無臨近效應(yīng)
         高分辨，高密度納米結(jié)構(gòu)
   ■   無電子/離子損傷
         高性能二維材料器件
   ■   區(qū)域熱加工和化學反應(yīng)
         多元化納米結(jié)構(gòu)改性
   ■   大樣品臺
         100mm X 100mm

新產(chǎn)品發(fā)布：NEW！！ NanoFrazor Scholar --小面積直寫
   ■   3D納米直寫能力
         高直寫精度 (XY: 30nm, Z: 1nm)
         高速直寫 10 mm/s
   ■   無需顯影，實時觀察直寫效果
         形貌感知靈敏度0.1nm
         樣品無需標記識別，多結(jié)構(gòu)套刻，對準精度 10 nm
   ■   無臨近效應(yīng)
         高分辨，高密度納米結(jié)構(gòu)
   ■   無電子/離子損傷
         高性能二維材料器件
   ■   區(qū)域熱加工和化學反應(yīng)
         多元化納米結(jié)構(gòu)改性
   ■   小樣品臺
         30mm X 30mm

該技術(shù)自問世以來已經(jīng)多次刷新了世界上最小3D立體結(jié)構(gòu)的尺寸，創(chuàng)造了世界上最小的馬特洪峰模型，最小立體世界地圖，最小刊物封面等世界記錄。

獨特的直寫與反饋流程

PPA(聚苯二醛) 直寫膠涂敷在樣品表面。

背熱式直寫探針，微區(qū)電阻式加熱針尖。與針尖接近的PPA受熱瞬間分解，周圍部分由于PPA熱導率低而不受影響。

熱針震動模式直寫，直寫時探針加熱，每次下針幅度受靜電力控制，垂直精度 1 nm，從而寫出3D圖形。

冷針接觸模式掃描，回程掃描時探針冷卻，由側(cè)壁的熱感應(yīng)器探測樣品高度變化(精度0.1nm), 獲得樣品形貌。反饋數(shù)據(jù)修正下一行直寫。

獨有的直寫針尖設(shè)計

普通的AFM針尖無法滿足上述NanoFrazor直寫流程的需求，因此NanoFrazor所用針尖是由IBM專門研發(fā)設(shè)計的。該針尖具有兩個電阻加熱區(qū)域，針尖上方的加熱區(qū)域可以加熱到1000oC。第二處加熱區(qū)域作為熱導率傳感器位于側(cè)臂處，其能感知針尖與樣品距離的變化，精度高達0.1 nm。因此在每行直寫進程結(jié)束后的回掃結(jié)構(gòu)時，并不是通過針尖起伏反饋形貌信息，而是通過熱導率傳感器感應(yīng)形貌變化，從而實現(xiàn)了比AFM快1000余倍的掃描速度，同避免了針尖的快速磨損消耗。

NanoFrazor技術(shù)特點

其他功能

● 納米顆粒有序定位排列

● 納米局部化學反應(yīng)誘導

● 表面化學圖案、結(jié)構(gòu)生成

納米顆粒有序定位排列

氧化石墨烯的定位還原

圖形轉(zhuǎn)移

通過NanoFrazor3D納米結(jié)構(gòu)直寫機獲得的納米圖形結(jié)構(gòu)，可以通過傳統(tǒng)成熟的工藝技術(shù)，如干法刻蝕，電鍍、注射成型法等進行圖形轉(zhuǎn)移。

應(yīng)用領(lǐng)域
	快速原型設(shè)計開發(fā) ● 衍射透鏡，全息圖 ● 非球面微透鏡陣列 ● 波導纖維、光子晶體 ● MEMS/NEMS ● 表面等離子激元，超材料 ● 納米磁學 ● 納米電子器件 ● 生物細胞研究 ● 納米流體控制 ● 反物質(zhì)物理學	微納結(jié)構(gòu) ● 防偽標識 ● DFB 激光、 ● ASICs 的關(guān)鍵部位加工模板加工 ● 光掩模板 ● 納米壓印印章 ● 注射成型模具